瑞典Ionautics lonMeter：精準監測電離分數與沉積通量，助力PVD/IPVD工藝與塗層質量雙重提升

在物理氣相沉積（PVD）和電離物理氣相沉積（IPVD）領域
，精確監測沉積通量和電離分數對於優化工藝參數和塗層質量至關重要。瑞典Ionautics公司憑借其lonMeter為這一挑戰提供了創新的解決方案。lonMeter基於成熟的石英晶體微天平（QCM）技術
，不僅實現了實時監測，還通過一係列獨特設計

，提升了電離分數監測的準確性和可靠性。

　　關於lonMeter

　　lonMeter憑ping借jie其qi獨du特te的de傳chuan感gan器qi設she計ji，能neng夠gou精jing確que量liang化hua沉chen積ji通tong量liang中zhong的de電dian離li分fen數shu，這zhe對dui於yu深shen入ru理li解jie電dian離li機ji製zhi及ji優you化hua電dian離li參can數shu至zhi關guan重zhong要yao。在zai加jia工gong過guo程cheng中zhong，它ta提ti供gong實shi時shi現xian場chang測ce量liang功gong能neng，使shi研yan究jiu人ren員yuan能neng夠gou即ji時shi調tiao整zheng工gong藝yi參can數shu以yi確que保bao產chan品pin質zhi量liang。為wei了le確que保bao電dian離li分fen數shu監jian測ce的de準zhun確que性xing，lonMeter還(hai)配(pei)備(bei)了(le)高(gao)效(xiao)的(de)磁(ci)屏(ping)蔽(bi)裝(zhuang)置(zhi)，這(zhe)一(yi)設(she)計(ji)不(bu)僅(jin)有(you)效(xiao)避(bi)免(mian)了(le)等(deng)離(li)子(zi)體(ti)電(dian)子(zi)對(dui)診(zhen)斷(duan)過(guo)程(cheng)的(de)幹(gan)擾(rao)，同(tong)時(shi)確(que)保(bao)了(le)離(li)子(zi)和(he)中(zhong)性(xing)物(wu)質(zhi)的(de)順(shun)利(li)傳(chuan)輸(shu)，從(cong)而(er)提(ti)供(gong)了(le)更(geng)加(jia)準(zhun)確(que)和(he)可(ke)靠(kao)的(de)電(dian)離(li)分(fen)數(shu)數(shu)據(ju)。與傳統的使用網格的解決方案相比，lonMeter的磁屏蔽裝置在阻擋電子方麵表現出色，且專注於成膜材料的監測，排除了雜質幹擾
，使得數據更加可靠。lonMeter的應用範圍廣泛，涵蓋了電離物理氣相沉積（IPVD）工藝的多個方麵：

　　●  電離通量分數優化：

　　通過實時監測電離過程中的關鍵參數，lonMeter能夠幫助用戶優化電離通量分數，提高工藝的穩定性和效率。

　　●  過程穩定性提升

　　lonMeter能夠監測電離過程中的漂移，及時采取措施進行緩解，從而確保塗層質量的一致性和可靠性。

　　●  塗層參數調整

　　通過調整電離參數，用戶可以利用lonMeter靈活調整塗層的應力

、硬度和電導率等關鍵性能，以滿足不同應用場景的需求。

　　應用優化策略於多個領域：

　　1.電離物理氣相沉積(IPVD)中電離通量分數的優化工藝

　　2.通過監測和緩解電離過程中的漂移來實現過程穩定

　　3.通過監測和控製電離來調整塗層參數，如應力、硬度和電導率

　　4.通過空間映射電離和沉積來優化沉積係統設計

　　5.係統設計優化，希望它均勻分布在空間中

　　6.在加工過程中現場優化 PVD 源和磁體組設計

　　IonMeter產品規格

　　石英振蕩器類型: 6 MHz

　　頻率分辨率: ± 0.01 Hz，10次讀數/秒

　　頻率穩定度: 總計± 2 ppm
，0°至 50°C 範圍內

　　水晶兌換: 前裝式獨立包裝，方便更換

　　通訊接口: USB

　　輸入電壓：USBC

　　環境規格：

　　無水冷時最高工作溫度：130°C

　　最小水冷流量時最高工作溫度：400°C

　　規範：CE 認證

　　尺寸和安裝

　　傳感器尺寸：待定

　　安裝：40CF（法蘭），1xBNC-Microdot和2x水

　　為何選擇lonMeter？

　　lonMeter不僅能夠輔助優化電離物理氣相沉積工藝中的電離通量分數，穩定工藝過程
；還能夠通過監測和控製電離來調整塗層參數，滿足多樣化需求；同時，通過繪製電離和沉積的空間分布圖
，lonMeter還能夠輔助沉積係統布局、PVD源和磁鐵組的優化設計
，提高沉積效率和塗層質量
，為研究人員提供了便利。

　　lonMeter作為瑞典Ionautics公司提供的創新解決方案，憑借其基於石英晶體微天平（QCM）技術的獨特設計和高效磁屏蔽裝置
，在物理氣相沉積（PVD）和電離物理氣相沉積（IPVD）領(ling)域(yu)展(zhan)現(xian)出(chu)了(le)卓(zhuo)越(yue)的(de)性(xing)能(neng)。它(ta)不(bu)僅(jin)實(shi)現(xian)了(le)對(dui)沉(chen)積(ji)通(tong)量(liang)和(he)電(dian)離(li)分(fen)數(shu)的(de)精(jing)確(que)監(jian)測(ce)，還(hai)通(tong)過(guo)實(shi)時(shi)監(jian)測(ce)和(he)現(xian)場(chang)優(you)化(hua)策(ce)略(lve)，顯(xian)著(zhu)提(ti)升(sheng)了(le)工(gong)藝(yi)參(can)數(shu)的(de)優(you)化(hua)能(neng)力(li)和(he)塗(tu)層(ceng)質(zhi)量(liang)的(de)穩(wen)定(ding)性(xing)。無(wu)論(lun)是(shi)在(zai)電(dian)離(li)通(tong)量(liang)分(fen)數(shu)的(de)優(you)化(hua)
、過程穩定性的提升
，還是在塗層參數的調整、沉積係統設計的優化以及沉積過程中的現場優化方麵，lonMeter都展現出了其優勢。對於致力於提升PVD和IPVD工藝水平的研究人員和工程師而言
，選擇lonMeter它將為您的研究和生產工作帶來便利和效益。