三菱材料開發出高介電體材料可延長薄膜電容器壽命
發布時間:2010-11-24 來源:日經BP社
高介電體材料的產品特性:
三san菱ling材cai料liao開kai發fa出chu了le可ke延yan長chang薄bo膜mo電dian容rong器qi壽shou命ming的de高gao介jie電dian體ti材cai料liao。該gai公gong司si稱cheng,通tong過guo改gai進jin材cai料liao成cheng分fen及ji膜mo紋wen理li控kong製zhi技ji術shu,在zai高gao溫wen高gao壓ya下xia的de加jia速su壽shou命ming試shi驗yan中zhong實shi現xian了le十shi數shu倍bei於yu現xian行xing標biao準zhun產chan品pin的de壽shou命ming。
新開發的材料為鋯鈦酸鉛(PZT)類高介電體溶膠凝膠(Sol-gel)液。該公司目前在生產並銷售濕式工藝(溶膠凝膠法)薄膜電容器用PZT類高介電體溶膠凝膠液。此次對現有的這種材料作了改進。溶膠凝膠法,是在基板上塗布有機金屬化合物溶液(溶膠液),使之幹燥形成凝膠膜(膠狀固體),並將其燒結,以在基板上獲得金屬氧化物膜的成膜方法。能以低於一般真空工藝(真空蒸鍍法等)的成本製造。
- 采用膜紋理控製技術
- 應用材料為PZT類高介電體Sol-gel液
- 高介電體材料可延長薄膜電容器壽命
三san菱ling材cai料liao開kai發fa出chu了le可ke延yan長chang薄bo膜mo電dian容rong器qi壽shou命ming的de高gao介jie電dian體ti材cai料liao。該gai公gong司si稱cheng,通tong過guo改gai進jin材cai料liao成cheng分fen及ji膜mo紋wen理li控kong製zhi技ji術shu,在zai高gao溫wen高gao壓ya下xia的de加jia速su壽shou命ming試shi驗yan中zhong實shi現xian了le十shi數shu倍bei於yu現xian行xing標biao準zhun產chan品pin的de壽shou命ming。
新開發的材料為鋯鈦酸鉛(PZT)類高介電體溶膠凝膠(Sol-gel)液。該公司目前在生產並銷售濕式工藝(溶膠凝膠法)薄膜電容器用PZT類高介電體溶膠凝膠液。此次對現有的這種材料作了改進。溶膠凝膠法,是在基板上塗布有機金屬化合物溶液(溶膠液),使之幹燥形成凝膠膜(膠狀固體),並將其燒結,以在基板上獲得金屬氧化物膜的成膜方法。能以低於一般真空工藝(真空蒸鍍法等)的成本製造。
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