【導讀】黑矽是一種低反射率的矽材料，和常規的矽材料相比它具有超強的吸收光線的能力，可用於太陽能電池產業。中科院微電子所用自行研製的等離子體浸沒離子注入機製備了多種微觀結構的黑矽材料。

heiguishiyizhongdifanshelvdeguicailiao，hechangguideguicailiaoxiangbitajuyouchaoqiangdexishouguangxiandenengli，keyongyutaiyangnengdianchichanye。zhongkeyuanweidianzisuoweidianzishebeiyanjiushi（八室）夏(xia)洋(yang)研(yan)究(jiu)員(yuan)帶(dai)領(ling)的(de)研(yan)究(jiu)團(tuan)隊(dui)，原(yuan)創(chuang)性(xing)提(ti)出(chu)利(li)用(yong)等(deng)離(li)子(zi)體(ti)浸(jin)沒(mei)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)技(ji)術(shu)製(zhi)備(bei)黑(hei)矽(gui)材(cai)料(liao)。該(gai)團(tuan)隊(dui)利(li)用(yong)自(zi)行(xing)研(yan)製(zhi)的(de)等(deng)離(li)子(zi)體(ti)浸(jin)沒(mei)離(li)子(zi)注(zhu)入(ru)機(ji)（國家自然科學基金委、中科院裝備項目、方向性項目支持）製備了多種微觀結構的黑矽材料，在可見光波段黑矽的平均反射率為0.5%，與飛秒激光製備黑矽的反射率相當
，同時該工藝適應大批量製備，成本低
，生產效率高。其科研文章發表在Solar Energy、Energy Procedia
、Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena、物理學報等多家期刊上，已申請專利30餘項。

通過對黑矽結構進行優化，並且對生產線電池配套工藝進行改進，在全國產設備生產線研發出多晶黑矽太陽能電池（156mm×156mm
，多晶）批量平均效率高達17.46％，最高可到17.65%。