中微半導體設備有限公司（簡稱“中微”）宣布獲得韓國先進存儲芯片生產廠商購買Primo SSC AD-RIE™（中微單反應台等離子體刻蝕設備）的重複訂單。該設備被客戶認可為用於16納米關鍵閃存芯片加工的首選設備（PTOR），將用於大批量芯片生產。此前

，中微的Primo SSC AD-RIE™通過客戶生產線上嚴格的驗證，取得了比其他同類競爭產品更加優異的結果。中微現在正在和客戶合作研究開發DRAM和3D NAND工藝。 

 

 

圖1：中微單反應台等離子體刻蝕設備Primo SSC AD-RIE(TM) 

 

中微副總裁兼韓國區總經理尹敬一表示
，中微設備成為“PTOR”標誌著中微取得了一項重大進展，他說道：“很hen明ming顯xian，現xian在zai處chu於yu世shi界jie前qian沿yan的de客ke戶hu不bu單dan單dan想xiang從cong供gong應ying商shang那na兒er尋xun找zhao新xin設she備bei，他ta們men還hai希xi望wang能neng夠gou為wei複fu雜za的de生sheng產chan過guo程cheng帶dai來lai的de挑tiao戰zhan尋xun求qiu全quan麵mian解jie決jue方fang案an。這zhe就jiu要yao求qiu先xian進jin技ji術shu和he相xiang關guan專zhuan業ye知zhi識shi緊jin密mi聯lian係xi在zai一yi起qi
，正zheng是shi依yi靠kao這zhe種zhong模mo式shi
，我wo們men為wei該gai客ke戶hu解jie決jue了le生sheng產chan過guo程cheng中zhong碰peng到dao的de各ge種zhong問wen題ti，使shi得de客ke戶hu的de閃shan存cun芯xin片pian開kai發fa取qu得de新xin的de進jin展zhan。” 

 

Primo SSC AD-RIE™是中微Primo係列第三代、也是最新一代刻蝕設備產品
，能夠滿足超高產能、優異的芯片加工質量和芯片刻蝕技術可延展性等嚴苛的技術要求。Primo SSC AD-RIE™的晶圓傳遞平台可配置多達6個(ge)單(dan)晶(jing)圓(yuan)加(jia)工(gong)反(fan)應(ying)器(qi)，每(mei)個(ge)反(fan)應(ying)器(qi)可(ke)以(yi)獨(du)立(li)地(di)設(she)定(ding)加(jia)工(gong)條(tiao)件(jian)，從(cong)而(er)靈(ling)活(huo)地(di)實(shi)現(xian)精(jing)準(zhun)的(de)工(gong)藝(yi)控(kong)製(zhi)。每(mei)個(ge)反(fan)應(ying)器(qi)有(you)極(ji)高(gao)的(de)抽(chou)速(su)，並(bing)有(you)多(duo)區(qu)氣(qi)體(ti)分(fen)布(bu)、動態射頻功gong率lv以yi及ji多duo區qu溫wen度du控kong製zhi等deng可ke獨du立li調tiao節jie的de工gong藝yi參can數shu。而er在zai線xian工gong藝yi微wei調tiao和he穩wen固gu的de腔qiang體ti設she計ji避bi免mian了le高gao深shen寬kuan比bi刻ke蝕shi工gong藝yi中zhong常chang出chu現xian的de刻ke蝕shi停ting止zhi現xian象xiang以yi及ji工gong藝yi飄piao移yi現xian象xiang的de發fa生sheng，從cong而er提ti高gao刻ke蝕shi的de重zhong複fu性xing並bing更geng容rong易yi實shi現xian反fan應ying器qi之zhi間jian的de良liang好hao匹pi配pei，能neng夠gou大da大da提ti高gao生sheng產chan效xiao率lv。 

 

zhongweikeshishebeideyidaguanjianyoushizaiyutadepeizhijijulinghuoxing。tazaitongyigezhujixitongshangkeyipeibeishuangfanyingqishixiangaochanchuhedichengben
，huozheyekeyipeibeidanfanyingqiyimanzuguanjiankeshigongyizhonggaochousudengyaoqiu。zhezhongpeizhidelinghuoxinghaitixianzaiqitikongzhixitongdeanzhuangshang，tamenjikeyizhiyudimianyibianyuweihu，yekeyizhiyushebeishangfangyijianshaozhandimianji。 

 

Primo SSC AD-RIE和Primo D-RIE是中微的注冊商標。