圖1：ASMI 中國業務開發總監徐來

 

事實上，在全球半導體設備行業中有兩家名稱中含有 ASM 的著名設備供應商，分別是 ASMI 和 ASM PT
，目前均為上市公司。這兩家公司由同一創始人成立，ASMI 和 ASMPT 目前是獨立運營的
，ASMI 主攻前段工序

，ASMPT 主攻後段工序。兩者唯一的關係在於 ASMI 是 ASMPT 最大的持股者，前者持有後者 25% 的股份。

 

ASMI 於 1968 年在荷蘭成立
，是全球前十大設備供應商之一。目前，ASMI 在全球 7 個國家設有研發中心和生產基地，擁有 1900 名員工。而 ASMI 中(zhong)國(guo)總(zong)部(bu)位(wei)於(yu)上(shang)海(hai)，並(bing)在(zai)全(quan)國(guo)各(ge)地(di)設(she)有(you)服(fu)務(wu)和(he)支(zhi)持(chi)的(de)地(di)點(dian)，還(hai)有(you)麵(mian)向(xiang)先(xian)進(jin)技(ji)術(shu)研(yan)發(fa)的(de)本(ben)地(di)工(gong)藝(yi)工(gong)程(cheng)支(zhi)持(chi)。同(tong)時(shi)


，公(gong)司(si)也(ye)在(zai)本(ben)地(di)存(cun)儲(chu)零(ling)部(bu)件(jian)以(yi)保(bao)證(zheng)能(neng)快(kuai)速(su)服(fu)務(wu)客(ke)戶(hu)的(de)需(xu)求(qiu)。

 

 

據徐來介紹，ASMI 最大的優勢就是 ALD 工藝，同時 ASMI 也是全球市占率最高的 ALD 工藝設備供應商。據公開資料顯示，ALD 設備是先進集成電路製造工藝中必不可缺少的薄膜沉積設備，ALD 工藝具有工藝溫度低
、薄膜厚度控製精確及台階覆蓋率高等優點。

 

目前，ASMI 和許多中國芯片製造商合作
，並已安裝了諸多設備，從低於 200mm 到 300mm 製造。麵向的應用有邏輯/代工廠、存儲和模擬製造還有晶圓市場。在中國已用於生產的平台有原子層沉積（ALD）
、增強等離子體化學氣象沉積（PECVD）
、立式爐（Vertical Furnace）、外延設備（Epitaxy）。

 

據悉，ASMI 不僅在韓國，日本和美國設有研發中心
，在比利時和芬蘭也分別設有研發中心。

同時，徐來表示
，"我們與其他設備廠最大的差異在於：ASMI有自己的工藝集成中心（比利時）。dangwomenzaizuoxianjinzhichengyanjiushihuifaxianyixieyingyong，faxianyingyongzhihoubianyouleduixiangguancailiaodexuqiu，ranhoufankuigeiwomenzaifenlandecailiaoyanjiuzhongxin，yanjiuchuxiangyingdecailiaozhichigongyi。zuihou，fankuigeishiyebulaigenjuyaoqiuzhizaoshebei、提供給客戶

，再根據客戶需求更新設備。"

 

 

根據 SEMI（國際半導體產業協會）於 2018 年 2 月 28 日公布的"全球晶圓廠預測報告"最新內容中指出，2019 年全球晶圓廠設備支出將增加 5%，連續第四年呈現大幅成長。除非原有計劃大幅變更
，中國大陸將是 2018、2019 年全球晶圓廠設備支出成長的主要推手。

 

圖2：全球晶圓廠設備支出預測

 

SEMI 預測
，2018 和 2019 年全球晶圓廠設備支出將以三星居冠，但投資金額都不及 2017 年的高點。相較之下，為支持跨國與本土的晶圓廠計劃，2018 年中國大陸的晶圓廠設備支出較前一年將大幅增加 57%，2019 年更高達 60%。 中國大陸設備支出金額預計於 2019 年超越韓國，成為全球支出最高的地區。

 

"正是因為看到中國市場強勁的增長表現，ASMI 從去年開始做了很多改變，加強了市場拓展和客戶服務。"徐來表示，"實際上，ASMI 進入中國已經 20 年

，目前為止在中國的裝機容量約為 200 台，涵蓋了中國所有的客戶。現在重慶、徐州、廣州、青島等地都有新的客戶增加
，所以相應的團隊也要不停的擴充。"

 

徐來認為，"ASMI yijingzaiquanqiudedaohenduorenke
，shiyingteerhetaijidiandezuijiagongyingshang。weilaisuizhezhongguoyewudezengjia
，xiangxinwomenzaizhongguoyehuidedaogengduodeguoneikehuderenke。"