【導讀】通過微機電係統和兩個壓力傳感器補償集成電路 (IC) 演(yan)示(shi)了(le)用(yong)於(yu)生(sheng)化(hua)和(he)醫(yi)療(liao)目(mu)的(de)的(de)微(wei)流(liu)體(ti)流(liu)量(liang)測(ce)量(liang)。流(liu)體(ti)的(de)流(liu)速(su)可(ke)以(yi)通(tong)過(guo)精(jing)密(mi)加(jia)工(gong)通(tong)道(dao)上(shang)的(de)壓(ya)降(jiang)來(lai)確(que)定(ding)。整(zheng)個(ge)組(zu)件(jian)安(an)裝(zhuang)在(zai)一(yi)個(ge)小(xiao)型(xing)陶(tao)瓷(ci)混(hun)合(he)組(zu)件(jian)上(shang)。

通過微機電係統和兩個壓力傳感器補償集成電路 (IC) 演(yan)示(shi)了(le)用(yong)於(yu)生(sheng)化(hua)和(he)醫(yi)療(liao)目(mu)的(de)的(de)微(wei)流(liu)體(ti)流(liu)量(liang)測(ce)量(liang)。流(liu)體(ti)的(de)流(liu)速(su)可(ke)以(yi)通(tong)過(guo)精(jing)密(mi)加(jia)工(gong)通(tong)道(dao)上(shang)的(de)壓(ya)降(jiang)來(lai)確(que)定(ding)。整(zheng)個(ge)組(zu)件(jian)安(an)裝(zhuang)在(zai)一(yi)個(ge)小(xiao)型(xing)陶(tao)瓷(ci)混(hun)合(he)組(zu)件(jian)上(shang)。

流體分析在當前的廣泛應用中至關重要。生物學、醫學分析
、基因工程和許多其他領域都依賴於快速、和可重複的化學和生物分析。自動化流體樣品定量和分析的工具對於經濟實惠的性能至關重要。

高gao度du化hua的de電dian子zi傳chuan感gan器qi被bei設she計ji用yong於yu自zi動dong化hua樣yang品pin分fen析xi，但dan液ye體ti的de計ji量liang仍reng然ran是shi一yi個ge突tu出chu的de問wen題ti，必bi須xu以yi物wu理li方fang式shi完wan成cheng。該gai操cao作zuo通tong常chang通tong過guo由you步bu進jin電dian機ji驅qu動dong的de專zhuan用yong微wei型xing注zhu射she器qi來lai完wan成cheng。很hen容rong易yi想xiang象xiang與yu此ci類lei設she置zhi相xiang關guan的de難nan度du和he費fei用yong。

為了解決這個問題，DASA IMT 和 Seyonic SA（均位於瑞士納沙泰爾）開發了流通式微流體計量，作為太空實驗工具包的一部分。如下所述，該設計的關鍵要素是微流量傳感器裝置。要求是：

小尺寸
化學惰性
溫度穩定性
長期穩定
簡單、輕鬆且全自動的重新校準
線性電壓-壓力輸出

celiangweiliutiliudongdeyizhongfangfashiceliangjichengdaoweiliutongdaozhongdexianzhijianshangdeyacha。yaliceliangtongguoshuangyazuyalichuanganqijinxing，yigefangzhizaixianzhizhiqian，lingyigefangzhizaixianzhizhihou。weilequebaochuanganqibushouhuaxueqinshixingliutideyingxianghuogaibian，jiayaliutishijiadaochuanganqimopiandebeimian（其單晶矽對化學物質相對不敏感）而er不bu是shi正zheng麵mian。這zhe種zhong不bu尋xun常chang的de配pei置zhi通tong過guo屏ping蔽bi液ye體ti來lai保bao護hu傳chuan感gan器qi頂ding部bu敏min感gan的de微wei電dian子zi電dian路lu。為wei了le防fang止zhi機ji械xie張zhang力li產chan生sheng誤wu差cha
，傳chuan感gan器qi安an裝zhuang在zai厚hou陶tao瓷ci基ji板ban上shang（圖 1）。

壓ya阻zu壓ya力li傳chuan感gan器qi具ju有you出chu色se的de靈ling敏min度du和he再zai現xian性xing，但dan它ta們men對dui環huan境jing溫wen度du的de變bian化hua非fei常chang敏min感gan。直zhi到dao近jin，還hai沒mei有you辦ban法fa在zai實shi現xian微wei流liu體ti流liu量liang傳chuan感gan所suo需xu的de小xiao尺chi寸cun和he快kuai速su響xiang應ying的de同tong時shi補bu償chang這zhe些xie誤wu差cha。該gai問wen題ti的de解jie決jue方fang案an之zhi一yi是shi新xin型xing MAX1458 傳感器信號處理器
，它可以補償壓阻傳感器的初始誤差和溫度相關誤差。圖 2 將未經校正的傳感器的輸出與使用該 IC 補償的相同輸出進行了比較。

數字和用戶可編程寄存器對模擬信號路徑執行完全電子補償。對於環境溫度變化較大的應用
，如-40°C至+125°C汽車溫度範圍，MAX1458可提供優於1%的總輸出精度。對於更有限的量程，例如 +15°C 至 +45°C，總壓力精度接近 0.1%。

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