CMEMS技術：批量CMOS製造工藝生產基於EMS的頻率控製器件
發布時間：2014-02-28 責任編輯：mikeliu
【導讀】在過去的五年裏，微機電係統（MEMS）解決方案已經穩步進入由石英晶體解決方案壟斷上百年的頻率控製和定時產品市場。MEMS技術最初源於對更小外形尺寸的追求，目前已呈現出顯著的其他優勢，包括交付時間、供應穩定性、產品可靠性、器件尺寸和性價比等，這些優勢使基於MEMS的振蕩器占有部分基於石英的頻率控製市場。
依賴傳統技術，基於石英的頻率控製設計有很多限製，例如需要更高專業化和複雜生產流程，基於陶瓷的特殊包裝（如圖1所示），需要密閉可靠的腔體以及片外匹配電容，對環境因素敏感，尤其是熱力、衝擊和振動，可能導致現場故障。
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