機遇與挑戰：

• 國產MEMS壓力傳感器正在進入高端應用市場
• 汽車電子、新型數字消費電子和醫療電子對MEMS傳感器需求大

在軍事工程、化爆試驗
、石油勘采與試井、土木工程學、岩土力學、創傷醫學、液壓動力機械試驗等科學試驗與現代化儀器儀表中，需要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態壓力波形與幅值、有效值
，要求所用壓力傳感器具有較高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優良的響應頻帶
，以保證足夠的動態測壓精度。

隨sui著zhe測ce量liang技ji術shu的de飛fei速su發fa展zhan
，對dui傳chuan感gan器qi提ti出chu了le更geng高gao的de要yao求qiu，尤you其qi在zai高gao精jing度du的de流liu體ti動dong力li學xue測ce試shi中zhong
，要yao求qiu傳chuan感gan器qi具ju有you良liang好hao的de動dong態tai特te性xing。為wei了le不bu影ying響xiang流liu場chang狀zhuang態tai，提ti高gao測ce量liang的de精jing度du
，還hai需xu壓ya力li傳chuan感gan器qi具ju有you極ji小xiao和he極ji薄bo的de外wai形xing

，一yi般ban來lai講jiang，外wai徑jing約yue為wei2 mm～8mm，或厚度2 mm～5mm
，傳感器的尺寸漸趨小型化。近二十年來，壓力傳感器行業明顯加快了壓阻式替代淘汰應變式
、厚膜陶瓷式壓力傳感器的步伐，MEMS技術逐步成為產業化技術主流。

受自身技術條件限製， 國內大多數壓力傳感器企業多把國內外產矽MEMS OEMchanpinzuoweiyalichuanganqideguanjianbujian
，zuzhuanghouzaixingxiaoshou，jinruxingyedemenkanjiaodi，zijinyunzhuankuai。danduiyougaonanduyaoqiudegaodangchuanganqi
，qiyejimaibudaoxiangyingdeguiMEMS OEM產(chan)品(pin)
，又(you)不(bu)具(ju)備(bei)相(xiang)應(ying)設(she)計(ji)與(yu)特(te)殊(shu)製(zhi)作(zuo)技(ji)術(shu)，因(yin)此(ci)基(ji)本(ben)無(wu)法(fa)進(jin)入(ru)這(zhe)一(yi)細(xi)分(fen)市(shi)場(chang)。昆(kun)山(shan)雙(shuang)橋(qiao)傳(chuan)感(gan)器(qi)測(ce)控(kong)技(ji)術(shu)有(you)限(xian)公(gong)司(si)充(chong)分(fen)利(li)用(yong)其(qi)技(ji)術(shu)積(ji)累(lei)
，從(cong)核(he)心(xin)元(yuan)件(jian)關(guan)鍵(jian)技(ji)術(shu)做(zuo)起(qi)
，基(ji)於(yu)MEMS微機械加工技術，自行研製的微型動態壓阻壓力傳感器能確保力敏矽膜片有效尺寸更小
，固有頻率更高；此(ci)外(wai)，利(li)用(yong)矽(gui)優(you)良(liang)的(de)彈(dan)性(xing)力(li)學(xue)特(te)性(xing)，尤(you)其(qi)是(shi)極(ji)高(gao)的(de)楊(yang)氏(shi)彈(dan)性(xing)模(mo)量(liang)

，加(jia)之(zhi)低(di)的(de)電(dian)橋(qiao)內(nei)阻(zu)抗(kang)，不(bu)僅(jin)利(li)於(yu)獲(huo)得(de)高(gao)頻(pin)響(xiang)，而(er)且(qie)有(you)低(di)至(zhi)亞(ya)微(wei)秒(miao)的(de)上(shang)升(sheng)時(shi)間(jian)及(ji)非(fei)常(chang)幹(gan)淨(jing)的(de)幅(fu)頻(pin)特(te)性(xing)曲(qu)線(xian)，可(ke)廣(guang)泛(fan)應(ying)用(yong)於(yu)要(yao)求(qiu)傳(chuan)感(gan)器(qi)尺(chi)寸(cun)小(xiao)、對測試流場影響小
、動態特性好的空氣動力學研究
、風洞測控試驗等高端應用領域。微型壓力傳感器產品在雙橋傳感器公司已形成係列化，主要產品有Ф2mm
、Ф3mm、Ф5mm、Ф8mm，涵蓋了對水、氣
、油等多種介質的測量。產品完全為公司自主設計和開發，具有獨立的自主知識產權，表明國內企業在開發高、特
、難、新壓力傳感器方麵已經具有很強的技術實力。
   
汽車電子、新型數字消費電子和醫療電子等產業的快速發展，對MEMS傳感器的各種新需求和基於該技術的創新不斷湧現，MEMS傳感器的市場機會逐步顯現。此前昆山雙橋傳感器測控技術有限公司的基於MEMS技術的汽車壓力傳感器早已批量應用於汽車電子產業。另據該公司透露
，未來的2年～3年nian，通tong用yong壓ya力li傳chuan感gan器qi的de智zhi能neng化hua生sheng產chan技ji術shu將jiang成cheng為wei產chan業ye的de熱re點dian和he焦jiao點dian，為wei此ci，他ta們men著zhe重zhong針zhen對dui汽qi車che壓ya力li傳chuan感gan器qi和he特te種zhong傳chuan感gan器qi市shi場chang，製zhi定ding了le相xiang應ying的de產chan業ye化hua發fa展zhan策ce略lve，為wei客ke戶hu專zhuan製zhi開kai發fa，在zai商shang業ye模mo式shi上shang采cai取qu藍lan海hai戰zhan略lve

，以yi高gao技ji術shu保bao證zheng公gong司si在zai細xi分fen市shi場chang上shang的de成cheng功gong。從cong昆kun山shan雙shuang橋qiao的de行xing動dong上shang可ke以yi看kan出chu，國guo產chanMEMS壓力傳感器產品正在向汽車電子及一些高端應用等市場滲透。