在(zai)犧(xi)牲(sheng)層(ceng)結(jie)構(gou)的(de)薄(bo)結(jie)構(gou)上(shang)，如(ru)果(guo)采(cai)用(yong)擴(kuo)散(san)矽(gui)或(huo)多(duo)晶(jing)矽(gui)薄(bo)膜(mo)作(zuo)為(wei)犧(xi)牲(sheng)層(ceng)結(jie)構(gou)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)應(ying)變(bian)電(dian)阻(zu)，其(qi)厚(hou)度(du)相(xiang)對(dui)較(jiao)大(da)，對(dui)彈(dan)性(xing)膜(mo)片(pian)應(ying)力(li)分(fen)布(bu)影(ying)響(xiang)很(hen)大(da)，不(bu)利(li)於(yu)犧(xi)牲(sheng)層(ceng)結(jie)構(gou)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)性(xing)能(neng)優(you)化(hua)，因(yin)此(ci)采(cai)用(yong)多(duo)晶(jing)矽(gui)納(na)米(mi)薄(bo)膜(mo)製(zhi)作(zuo)應(ying)變(bian)電(dian)阻(zu)更(geng)能(neng)發(fa)揮(hui)犧(xi)牲(sheng)層(ceng)技(ji)術(shu)的(de)優(you)點(dian)。

在這之前，壓力傳感器設計過載保護時
，一般采用凸台等方法實現，形成方法有背部刻蝕技術、矽直接鍵合技術、玻bo璃li刻ke蝕shi技ji術shu等deng。然ran而er這zhe些xie結jie構gou的de腔qiang體ti尺chi寸cun較jiao大da
，進jin一yi步bu提ti高gao傳chuan感gan器qi的de靈ling敏min度du受shou到dao限xian製zhi

，而er且qie降jiang低di了le矽gui片pian利li用yong率lv
，增zeng加jia了le製zhi造zao工gong藝yi的de複fu雜za度du，提ti高gao了le生sheng產chan成cheng本ben。

現(xian)在(zai)，壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)應(ying)變(bian)電(dian)阻(zu)是(shi)在(zai)單(dan)晶(jing)矽(gui)片(pian)上(shang)擴(kuo)散(san)或(huo)注(zhu)入(ru)雜(za)質(zhi)的(de)方(fang)式(shi)實(shi)現(xian)
，為(wei)了(le)改(gai)善(shan)溫(wen)度(du)特(te)性(xing)，後(hou)來(lai)也(ye)采(cai)用(yong)了(le)多(duo)晶(jing)矽(gui)薄(bo)膜(mo)，但(dan)普(pu)通(tong)多(duo)晶(jing)矽(gui)薄(bo)膜(mo)的(de)應(ying)變(bian)因(yin)子(zi)較(jiao)小(xiao)，不(bu)利(li)於(yu)提(ti)高(gao)靈(ling)敏(min)度(du)。最(zui)新(xin)研(yan)究(jiu)結(jie)果(guo)表(biao)明(ming)
，多(duo)晶(jing)矽(gui)納(na)米(mi)薄(bo)膜(mo)具(ju)有(you)顯(xian)著(zhu)的(de)隧(sui)道(dao)壓(ya)阻(zu)效(xiao)應(ying)，表(biao)現(xian)出(chu)比(bi)常(chang)規(gui)多(duo)晶(jing)矽(gui)薄(bo)膜(mo)更(geng)優(you)越(yue)的(de)壓(ya)阻(zu)特(te)性(xing)，重(zhong)摻(chan)雜(za)條(tiao)件(jian)下(xia)其(qi)應(ying)變(bian)因(yin)子(zi)仍(reng)可(ke)達(da)到(dao)34
，具有負應變因子溫度係數，數值小於1×10-3/℃
，電阻溫度係數可小於2×10-4/℃。

在zai表biao麵mian微wei加jia工gong中zhong
，由you澱dian積ji到dao襯chen底di和he犧xi牲sheng層ceng上shang的de薄bo膜mo作zuo為wei結jie構gou層ceng，對dui微wei小xiao結jie構gou的de尺chi寸cun更geng易yi控kong製zhi，器qi件jian的de尺chi寸cun得de以yi減jian小xiao。然ran而er
，這zhe些xie結jie構gou層ceng的de機ji械xie性xing能neng高gao度du依yi賴lai於yu澱dian積ji和he隨sui後hou的de加jia工gong過guo程cheng
，相xiang對dui低di的de澱dian積ji速su率lv雖sui然ran限xian製zhi了le所suo製zhi作zuo器qi件jian的de厚hou度du，但dan是shi由you於yu結jie構gou層ceng厚hou度du低di，所suo以yi能neng製zhi作zuo出chu量liang程cheng更geng小xiao
、靈敏度更高的壓力傳感器。

因yin此ci，在zai犧xi牲sheng層ceng結jie構gou壓ya力li傳chuan感gan器qi上shang，采cai用yong多duo晶jing矽gui納na米mi薄bo膜mo作zuo應ying變bian電dian阻zu
，可ke以yi提ti高gao靈ling敏min度du，擴kuo大da工gong作zuo溫wen度du範fan圍wei，降jiang低di溫wen度du漂piao移yi。然ran而er，犧xi牲sheng層ceng結jie構gou非fei常chang薄bo，如ru何he提ti高gao傳chuan感gan器qi的de過guo載zai能neng力li顯xian得de尤you為wei重zhong要yao。所suo以yi，如ru何he在zai保bao證zheng傳chuan感gan器qi滿man量liang程cheng範fan圍wei內nei線xian性xing響xiang應ying的de前qian提ti下xia，調tiao整zheng犧xi牲sheng層ceng厚hou度du，通tong過guo彈dan性xing膜mo片pian與yu襯chen底di的de適shi當dang接jie觸chu來lai有you效xiao提ti高gao傳chuan感gan器qi的de過guo載zai能neng力li。改gai善shan工gong藝yi解jie決jue泄xie漏lou問wen題ti後hou，犧xi牲sheng層ceng結jie構gou多duo晶jing矽gui納na米mi膜mo壓ya力li傳chuan感gan器qi的de性xing能neng應ying該gai能neng滿man足zu設she計ji要yao求qiu。