能neng和he人ren對dui話hua，目mu前qian我wo們men專zhuan注zhu的de領ling域yu是shi振zhen動dong分fen析xi，當dang然ran，一yi般ban振zhen動dong分fen析xi會hui結jie合he溫wen度du檢jian測ce應ying用yong。通tong過guo振zhen動dong分fen析xi，可ke以yi保bao證zheng機ji器qi的de安an全quan性xing，做zuo預yu維wei護hu，量liang產chan保bao證zheng以yi及ji質zhi量liang監jian控kong。

 

ADI基於對MEMS傳感器以及模擬電路設計經驗的積累，於近兩年發布了一係列超低噪聲的振動傳感器
，也就是ADXL100x係列加速度計。它們可以用來替代傳統的壓電傳感器，可以說是列劃時代的產品，使得智能製造成為可能。

 

與傳統的壓電傳感器相比，MEMS的振動傳感器有非常多的優勢，比如說MEMS可以低頻甚至是直流信號
，但壓電的就不行，這是受其設計原理的限製。再就是耐衝擊的能力;隨著時間和溫度變化，傳感器的穩定性;整個測量範圍內的線性度;刻度因子的平坦度
；物理尺寸;傳感器是否能自檢等等。這些都是MEMS振zhen動dong傳chuan感gan器qi的de優you點dian。還hai有you最zui重zhong要yao的de一yi點dian就jiu是shi價jia格ge
，由you於yu壓ya電dian傳chuan感gan器qi需xu要yao手shou工gong製zhi作zuo，既ji無wu法fa保bao證zheng一yi致zhi性xing，又you使shi得de其qi成cheng本ben很hen高gao，很hen難nan享xiang受shou規gui模mo效xiao應ying所suo帶dai來lai的de好hao處chu，但danMEMS振zhen動dong傳chuan感gan器qi是shi采cai用yong的de標biao準zhun半ban導dao體ti工gong藝yi，很hen容rong易yi利li用yong規gui模mo效xiao應ying來lai控kong製zhi成cheng本ben，使shi得de其qi與yu壓ya電dian傳chuan感gan器qi相xiang比bi，有you明ming顯xian的de價jia格ge優you勢shi。這zhe樣yang，才cai能neng讓rang所suo有you的de機ji器qi說shuo話hua，因yin為wei其qi成cheng本ben是shi可ke接jie受shou的de。

 

未來該類傳感器的發展會是小型化，低功耗

，低噪聲
，大帶寬和高量程。而且在客戶端會有越來越多的無 線解決方案來替代傳統的有線方案。

 

圖1：趙延輝 ADI亞太區微機電產品市場與應用經理