淺談電容式和熱式MEMS加速度傳感器的部分差異-傳感技術-電子元件技術網

你的位置：首頁 > 傳感技術 > 正文

淺談電容式和熱式MEMS加速度傳感器的部分差異

發布時間：2019-01-18 責任編輯：lina

【導讀】設計工程師在開發重型裝備的過程中通常需要在不同種類的加速度傳感器zhongzuochuxuanze。liru，zaiqizhongji，tuolaji，mucaiqiegejiyijijianzhugongchengdengzhongxingjixiezhong，shejizhexuyaotongguoshiyongjiasuduchuanganqilaiceliangshebeigongzuoshidefuyanghefangunjiao。

shejigongchengshizaikaifazhongxingzhuangbeideguochengzhongtongchangxuyaozaibutongzhongleidejiasuduchuanganqizhongzuochuxuanze。liru，zaiqizhongji，tuolaji，mucaiqiegejiyijijianzhugongchengdengzhongxingjixiezhong，shejizhexuyaotongguoshiyongjiasuduchuanganqilaiceliangshebeigongzuoshidefuyanghefangunjiao。

在多數應用中，他們通常會根據傳感器的主要特性，比如結構，共振頻率、可靠性、穩定性、帶寬、功耗以及成本來作出選擇。

對於電容式和熱式MEMS傳感器來說，兩種技術最大的區別在於其不同的傳感技術。

淺談電容式和熱式MEMS加速度傳感器的部分差異

典型的雙軸熱式MEMS加jia速su度du傳chuan感gan器qi基ji於yu單dan芯xin片pian集ji成cheng技ji術shu。傳chuan感gan器qi和he控kong製zhi電dian路lu的de芯xin片pian被bei集ji成cheng在zai一yi個ge氣qi密mi性xing封feng裝zhuang中zhong。傳chuan感gan器qi包bao含han一yi個ge通tong過guo矽gui刻ke蝕shi生sheng成cheng的de空kong腔qiang以yi及ji一yi組zu置zhi於yu空kong腔qiang中zhong加jia熱re器qi和he溫wen度du測ce量liang單dan元yuan。

與yu電dian容rong式shi器qi件jian不bu同tong，熱re式shi傳chuan感gan器qi通tong過guo監jian測ce封feng裝zhuang腔qiang體ti內nei的de被bei加jia熱re器qi團tuan的de移yi動dong來lai測ce量liang加jia速su度du。在zai沒mei有you加jia速su度du的de情qing況kuang下xia，熱re氣qi團tuan會hui在zai加jia熱re器qi的de上shang方fang成cheng對dui稱cheng分fen布bu。在zai加jia速su度du的de作zuo用yong下xia，熱re氣qi團tuan會hui沿yan著zhe加jia速su度du的de方fang向xiang移yi動dong。由you於yu器qi件jian不bu包bao含han可ke被bei彎wan曲qu或huo者zhe可ke位wei移yi的de結jie構gou，因yin此ci可ke以yi提ti供gong非fei常chang高gao的de器qi件jian可ke靠kao性xing。

電容式MEMS加速度傳感器的部分劣勢

電容式MEMS加速度傳感器使用可位移的懸臂的結構。對於用於傾角測量的低加速度器件，其懸臂結構的固有帶寬通常大於5kHz，諧振頻率在2kHz左右。當震動的能量過大或者震動的頻率接近其懸臂結構諧振頻率，電容式加速度傳感器的輸出信號可能會出現失真或者共振。

在大多數情況下，失真或者共振信號會導致巨大的零點漂移（特別是Z軸），使shi得de傳chuan感gan器qi無wu法fa在zai高gao強qiang度du震zhen動dong環huan境jing中zhong正zheng確que的de還hai原yuan真zhen實shi的de信xin號hao。在zai高gao強qiang度du震zhen動dong環huan境jing中zhong的de零ling點dian漂piao移yi是shi電dian容rong式shi加jia速su度du傳chuan感gan器qi的de一yi個ge固gu有you的de缺que點dian，通tong常chang需xu要yao額e外wai的de技ji術shu將jiang震zhen動dong的de影ying響xiang隔ge離li或huo者zhe減jian輕qing。

推薦閱讀：
超聲波風速傳感器在生活環境中的各種應用

解析並聯電阻中分流電感的重要性

2019中國（廣州）國際物流裝備與技術展覽會
經驗分享|PCB布局時去耦電容擺放
解讀電容器在電路中的27種作用

要采購傳感器麼，點這裏了解一下價格!

上一篇：工業振動傳感器選擇指南

下一篇：詳解射頻電路中的電感匹配

特別推薦

技術文章更多>>

技術白皮書下載更多>>

熱門搜索

友情鏈接(QQ：317243736)

我愛方案網 ICGOO元器件商城創芯在線檢測芯片查詢天天IC網電子產品世界無線通信模塊控製工程網電子開發網電子技術應用與非網世紀電源網 21ic電子技術資料下載電源網電子發燒友網中電網中國工業電器網連接器礦山設備網工博士智慧農業工業路由器天工網乾坤芯電子元器件采購網亞馬遜KOL 聚合物鋰電池工業自動化設備企業查詢工業路由器元器件商城連接器 USB中文網今日招標網塑料機械網農業機械中國IT產經新聞網高低溫試驗箱

關閉

關閉