【導讀】2022年4月28日

，中國上海 — 技術先進的CMOS圖像傳感器供應商思特威（SmartSens）與合肥晶合集成電路股份有限公司（以下簡稱“晶合集成”）合作推出了國產自研高端BSI工藝平台，作為國內自主技術能夠突破關鍵工藝難點的高度客製化BSI工藝平台，將以性能比肩國際一流水準的全國產化高端工藝平台賦能智能安防
、機器視覺、車載電子以及智能手機等四大應用領域
，並進一步推動本土高端CIS技術的升級發展。

近年來
，隨著智能安防、機器視覺以及車載電子等應用端對圖像傳感器的要求逐步提升，為了保證優異的暗光成像性能，CMOS圖像傳感器的設計生產工藝也從FSI工藝（前照式工藝）朝著BSI工藝（背照式工藝）遞進，用以提升CMOS圖像傳感器的暗光成像品質。

突破技術壁壘打造國產高端BSI工藝平台

在CMOS圖像傳感器小像素尺寸與高分辨率的市場趨勢下
，BSI（Back SideIllumination）即背照式入射受到市場的重視和需求。相較於前照式入射方案
，BSI將光線入射方向改至光電二極管的背麵，可大幅提升CMOS圖tu像xiang傳chuan感gan器qi的de量liang子zi效xiao率lv，降jiang低di電dian路lu光guang學xue串chuan擾rao，同tong時shi解jie決jue了le像xiang素su尺chi寸cun微wei小xiao化hua和he擴kuo大da光guang學xue視shi角jiao響xiang應ying方fang麵mian的de重zhong要yao難nan題ti，進jin而er實shi現xian極ji佳jia的de暗an光guang成cheng像xiang品pin質zhi。

縱觀當下主流市場
，傳統前照式CIS隻要保證受光麵平整即可，對背麵的均一性並無特殊要求。而背照式則必須嚴格保證正反兩麵的平整性，這對微薄的背照式CIS帶來了非常大的技術難度
，同時BSI工藝平台屬於高度客製化工藝技術，在晶圓鍵合

、減薄以及矽表麵鈍化等關鍵技術工藝方麵存在技術壁壘，需要極強的自主技術實力
，因此產能仍大多依賴於國外BSI工藝平台。

早在2020年，思特威就已與晶合集成攜手成功推出了DSI工藝平台並實現量產，以優異的性能取得市場的一致好評。為了繼續提升產品性能，2021年思特威開始進行本土BSI背照式先進工藝平台的研發，在多項關鍵技術工藝上取得突破性成果，創新推出了國產高端BSI工藝平台，可實現媲美國際一流水準的優異暗光成像性能。

三大先進工藝技術鑄就優異成像性能

此次思特威攜手晶合集成推出的國產自研高端BSI平台通過晶圓鍵合技術、晶圓減薄技術以及矽表麵鈍化技術等三大關鍵工藝，可為當下智視應用提供一流的暗光成像性能。

該BSI高端工藝平台搭載晶圓鍵合技術，采用直接鍵合方式降低鍵合過程中晶圓畸變的產生，大幅提升其鍵合力，實現高像素性能；同時，為實現更好的BSI光(guang)電(dian)二(er)極(ji)管(guan)結(jie)構(gou)，藉(ji)由(you)思(si)特(te)威(wei)開(kai)發(fa)優(you)化(hua)的(de)晶(jing)圓(yuan)減(jian)薄(bo)技(ji)術(shu)，可(ke)在(zai)晶(jing)圓(yuan)研(yan)磨(mo)減(jian)薄(bo)中(zhong)最(zui)大(da)程(cheng)度(du)減(jian)少(shao)矽(gui)的(de)損(sun)耗(hao)


，保(bao)障(zhang)超(chao)高(gao)精(jing)度(du)並(bing)將(jiang)矽(gui)襯(chen)底(di)厚(hou)度(du)成(cheng)功(gong)減(jian)薄(bo)，而(er)且(qie)對(dui)於(yu)850nm與940nm的近紅外增強也做了工藝優化，保障了晶圓強度並實現出色的感光性能


；ciwai，gaipingtaihaicaiyongleyeneiqianyangongyicailiaodazaoguibiaomiandunhuajishu
，bimianlejingpianpaoguanghouduiguangdianerjiguandesunhuai
，jinyibujianshaobaidianyuandianliudechansheng，tishengCIS的暗光成像表現。

以高端BSI工藝平台賦能四大應用領域

此次推出的高端BSI工藝平台產品在感光度、噪聲控製
、色彩表現以及高溫性能等方麵都實現了進一步的提升，相較傳統前照式工藝，其QE（量子效率）與感光度分別大幅提升了40%與55%
，且暗電流降低了40%，在低光照環境中擁有更優異的感光性能。同時此次發布的高端BSI平台的滿阱電子增加了40%，進而其動態範圍與最大信噪比有效提升了3.5dB與2dB，得以呈現細膩的明暗細節與影像質感。此外
，為呈現更佳的色彩表現
，該BSI工藝的Chroma相較前照式增加了30%。思特威新高端BSI工藝平台將以全方位的性能提升力求賦能智能安防、車載電子、機器視覺以及智能手機等四大應用領域。

在安防應用中
，傳統攝像頭在夜間拍攝中場景依舊是漆黑一片

，且隻能展現物體輪廓，而憑借高端BSIgongyidejiachi，shexiangtoubujinnengshixianyouyideyeshiquancaiyingxiang，hainengbuzhuozhuruhuamianzhongderenwulianbuxijie，shenzhizaijinhongwaibuguangdengchaodizhaochangjingzhongyenengshixianqingxiyingxiang；而麵向夜間行車環境，BSI產品在保障汽車拍攝清晰影像畫麵的基礎上
，還可進一步捕捉清晰的車牌等細節信息進行有效識別，從而提升行車安全性。

思特威技術副總裁新居英明先生表示：“此次推出的國產自研高端BSI工藝平台是思特威在CIS工gong藝yi層ceng麵mian的de又you一yi創chuang新xin突tu破po成cheng果guo，目mu前qian該gai平ping台tai已yi成cheng功gong進jin入ru量liang產chan階jie段duan
，可ke實shi現xian極ji佳jia的de暗an光guang成cheng像xiang性xing能neng。作zuo為wei中zhong國guo本ben土tu為wei數shu不bu多duo擁yong有you自zi主zhu技ji術shu創chuang新xin能neng力li的deCMOS圖像傳感器芯片企業
，思特威始終持續在圖像傳感器工藝層麵進行創新研發，並以此來提升我們自身產品的成像性能，全新國產化高端BSI工藝平台將以國際一流成像水平賦能諸如智能安防、機器視覺以及車載電子等更多智視終端，推動本土高端CIS技術的國產化替代。（譯文）”

晶合集成業務副總經理周義亮先生表示：“晶合集成與思特威都是將創新作為研發源動力的國內高科技企業，此次我們很高興能與思特威合作推出國產自研高端BSI工藝平台，並在晶圓鍵合、jianbogongxuyijitedinggongyiyingyongdengfangmianshixianxindetupo。xiangxinweilaishuangfangdechuangxinjiyinjiangbuduandichuangzaogenggaojiazhiquxian，bingjinyibuzhutuizhongguobandaotichanyezaigaoduanCIS技術領域的國產化替代。”

目前，思特威國產自研高端BSI工藝平台已完成首顆項目流片，預計將在2022年Q2進入量產階段。

關於思特威 （SmartSens Technology）

思特威（上海）電子科技股份有限公司（SmartSens Technology）是一家從事CMOS圖像傳感器芯片產品研發
、設計及服務的高新技術企業
，2011年創立，總部設立於中國上海

，在北京、深圳、杭州
、香港、新xin竹zhu以yi及ji美mei國guo聖sheng何he塞sai等deng多duo個ge城cheng市shi設she有you研yan發fa中zhong心xin與yu銷xiao售shou辦ban公gong室shi，網wang絡luo遍bian及ji全quan球qiu。思si特te威wei以yi創chuang新xin為wei驅qu動dong
，專zhuan注zhu於yu為wei客ke戶hu提ti供gong麵mian向xiang未wei來lai和he全quan球qiu領ling先xian的deCMOS圖像傳感器芯片產品。憑借一支精於創新、覆蓋全球的研發團隊，思特威自主研發出了優秀的夜視全彩技術、SFCPixelTM專利技術、Stack BSI的全局曝光技術等諸多業內領先的創新技術。

自zi成cheng立li以yi來lai，思si特te威wei始shi終zhong專zhuan注zhu於yu高gao端duan成cheng像xiang技ji術shu的de創chuang新xin與yu研yan發fa，憑ping借jie性xing能neng優you勢shi在zai同tong質zhi化hua競jing爭zheng中zhong脫tuo穎ying而er出chu，得de到dao了le更geng多duo客ke戶hu的de認ren可ke和he青qing睞lai。公gong司si產chan品pin也ye不bu斷duan成cheng熟shu並bing確que立li了le安an防fang領ling域yu行xing業ye領ling先xian地di位wei

，產chan品pin遍bian及ji安an防fang監jian控kong
、車載影像、機器視覺及消費類電子產品（運動相機、無人機
、掃地機器人、智能家用攝像頭）等應用領域。自2017年起，思特威已連續多年在CIS產品安防領域全球市場占有率上保持領先
，並已成為消費類機器視覺領域Global Shutter CIS龍頭企業。今後亦將在人工智能
、手機影像、車載電子等新興應用領域不斷拓展創新。欲了解更多信息，請訪問： wwwhttp://wap.0-fzl.cn/power-art/80042021.smartsenstech.com。

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