納米測量的中心議題:

• 納米器件測量解決方案

納米測量的解決方案:

• 脈衝測試原理
• 脈衝測試方法
• 脈衝測試類型比較

隨sui著zhe納na米mi技ji術shu日ri新xin月yue異yi的de發fa展zhan
，研yan究jiu已yi深shen入ru到dao原yuan子zi挨ai原yuan子zi的de分fen子zi級ji，構gou造zao具ju有you全quan新xin特te性xing的de新xin結jie構gou。特te別bie地di，納na米mi電dian子zi領ling域yu的de發fa展zhan十shi分fen迅xun速su，其qi潛qian在zai影ying響xiang涉she及ji非fei常chang寬kuan的de行xing業ye領ling域yu。目mu前qian的de納na米mi電dian子zi研yan究jiu的de內nei容rong主zhu要yao是shi如ru何he開kai發fa利li用yong碳tan納na米mi管guan

、半導體納米線、分子有機電子和單電子器件。

不過，由於多方麵的原因，這些微小器件無法采用標準的測試技術進行測試。其中一個主要原因在於這類器件的物理尺寸。某些新型“超CMOS”器(qi)件(jian)的(de)納(na)米(mi)級(ji)尺(chi)寸(cun)很(hen)小(xiao)，很(hen)容(rong)易(yi)受(shou)到(dao)測(ce)量(liang)過(guo)程(cheng)使(shi)用(yong)的(de)甚(shen)至(zhi)很(hen)小(xiao)電(dian)流(liu)的(de)損(sun)壞(huai)。此(ci)外(wai)
，傳(chuan)統(tong)直(zhi)流(liu)測(ce)試(shi)技(ji)術(shu)也(ye)不(bu)總(zong)是(shi)能(neng)夠(gou)揭(jie)示(shi)器(qi)件(jian)實(shi)際(ji)工(gong)作(zuo)的(de)情(qing)況(kuang)。

相關鏈接：
納米器件測量解決方案詳解（上）:脈衝測試原理和方法
http://wap.0-fzl.cn/art/artinfo/id/80010973
納米器件測量解決方案詳解（下）:選擇合適的納米測量方案和工具
http://wap.0-fzl.cn/art/artinfo/id/80010974

脈衝測試：納米器件測量難題解決之道
脈衝式電測試是一種能夠減少器件總能耗的測量技術。它通過減少焦耳熱效應（例如I2R和V2/R），避免對小型納米器件可能造成的損壞。脈衝測試采用足夠高的電源對待測器件（DUT）施加間隔很短的脈衝，產生高品質的可測信號，然後去掉信號源。

通tong過guo脈mai衝chong測ce試shi
，工gong程cheng技ji術shu人ren員yuan可ke以yi獲huo得de更geng多duo的de器qi件jian信xin息xi，更geng準zhun確que地di分fen析xi和he掌zhang握wo器qi件jian的de行xing為wei特te征zheng。例li如ru，利li用yong脈mai衝chong測ce試shi技ji術shu可ke以yi對dui納na米mi器qi件jian進jin行xing瞬shun態tai測ce試shi
，確que定ding其qi轉zhuan移yi函han數shu，從cong而er分fen析xi待dai測ce材cai料liao的de特te征zheng。脈mai衝chong測ce試shi測ce量liang對dui於yu具ju有you恒heng溫wen限xian製zhi的de器qi件jian也ye是shi必bi需xu的de，例li如ruSOI器件、FinFET和(he)納(na)米(mi)器(qi)件(jian)，可(ke)以(yi)避(bi)免(mian)自(zi)熱(re)效(xiao)應(ying)
，防(fang)止(zhi)自(zi)熱(re)效(xiao)應(ying)掩(yan)蓋(gai)研(yan)究(jiu)人(ren)員(yuan)所(suo)關(guan)心(xin)的(de)響(xiang)應(ying)特(te)征(zheng)。器(qi)件(jian)工(gong)程(cheng)師(shi)還(hai)可(ke)以(yi)利(li)用(yong)脈(mai)衝(chong)測(ce)試(shi)技(ji)術(shu)分(fen)析(xi)電(dian)荷(he)俘(fu)獲(huo)效(xiao)應(ying)。在(zai)晶體管開啟後電荷俘獲效應會降低漏極電流。隨著電荷逐漸被俘獲到柵介質中
，晶體管的閾值電壓由於柵電容內建電壓的升高而增大
；從而漏極電流就降低了。

脈衝測試類型比較
脈衝測試有兩種不同的類型：加電壓脈衝和加電流脈衝。

dianyamaichongceshichanshengdemaichongkuandubidianliumaichongceshizhaideduo。zheyitexingshidedianyamaichongceshigengshiheyurechuanshushiyan，qizhongwomensuoguanxindeshijianchuangkouzhiyoujibainamiao。tongguogaojingdudefuzhihekebianchengdeshangshengyuxiajiangshijiannenggoukongzhinamiqijianshangdenenghaodaxiao。dianyamaichongceshikeyongyukekaoxingceshizhongdeshuntaifenxi、電荷俘獲和交流應力測試，也可用於產生時鍾信號，模擬重複控製線
，例如存儲器讀寫周期。

電流脈衝測試與電壓脈衝測試非常相似。其中，將指定的電流脈衝加載到DUT上，然後測量器件兩端產生的電壓。電流脈衝測試常用於測量較低的電阻，或者獲取器件的I-V特征曲線
，而不會使DUT產生大量的能耗，避免對納米器件的損害或破壞。

電壓和電流脈衝測試都有很多優點，但是它們的缺點卻不盡相同。例如，超短電壓脈衝的速度特征分析屬於射頻（RF）的範疇，因此如果測試係統沒有針對高帶寬進行優化，那麼測量過程中很容易產生誤差。其中主要有三種誤差來源：由於線纜和連接器造成的信號損耗、由於器件寄生效應造成的損耗以及接觸電阻。

電流脈衝測試的主要問題是上升時間較慢，可能長達幾百納秒。這主要受限於實驗配置中的電感和電容。