中心議題：

• MEMS光開關的簡介
• MEMS光開關的優勢
• MEMS光開關發展動態

解決方案：

• 不會產生機械疲勞
• 插入損耗，串擾小
• 采用上下折疊方式、左右移動方式或旋轉方式來實現開關的導通和斷開功能

微電子機械係統（MEMS）就是將幾何尺寸或操作尺寸僅在微米
、亞微米甚至納米量級的微機電裝置（如微機構、微驅動器等）與控製電路高度集成在矽基或非矽基材料上的一個非常小的空間裏，構成一個機電一體化的器件或係統。MEMS器件具有體積小、重量輕、能耗低

、慣性小、響應時間短，可把多個不同功能、不同敏感方向或致動方向的微機構大規模地集成在一起
，並且可以通過微電鑄的方法進行批量複製和大規模生產。
　　
MEMS加工技術主要分為三類：非矽基材料上以X光深度光刻的LIGA技術；矽基或非矽基材料上的精密機械刻劃技術
；在半導體集成電路技術之上發展起來的矽MEMS加工技術。
　　
矽MEMS加工技術最早出現於二十世紀六十年代
，所采用的主要技術是單晶矽各向異性腐蝕技術（體矽微機械）
，其代表產品是矽壓力傳感器。八十年代美國率先開發出以多晶矽為結構層
、二氧化矽為犧牲層的表麵犧牲層技術（表麵微機械）

，並開發出微矽靜電馬達，使得MEMS技術得到質的飛躍發展。表麵微機械加工技術與半導體集成電路技術最為相近，其主要特點是在薄膜澱積的基礎上，利用光刻、刻蝕等集成電路常用工藝製備微機械結構，最終利用選擇腐蝕技術釋放結構單元，獲得可微動結構。

進入九十年代，隨著深槽刻蝕技術
、鍵jian合he技ji術shu及ji其qi它ta關guan鍵jian技ji術shu的de成cheng功gong應ying用yong
，體ti矽gui微wei機ji械xie又you得de到dao了le飛fei速su發fa展zhan
，並bing發fa展zhan出chu多duo種zhong體ti矽gui工gong藝yi與yu表biao麵mian微wei機ji械xie工gong藝yi相xiang互hu結jie合he的de新xin工gong藝yi。特te別bie是shi開kai發fa出chu利li用yong感gan應ying耦ou合he等deng離li子zi體ti（ICP）和側壁鈍化（SPP）的先進矽刻蝕工藝（ASE），可對矽材料進行很大深寬比的三維微加工，其加工厚度可達幾百微米
，側壁垂直度可接近九十度。這使得MEMS技術不僅在傳感器領域的應用得到迅速發展，而且在光纖通信
、微型化學分析係統、DNA分析及微型機器人等領域的應用研究也得到空前發展。
　　
光纖通信在實現了高速、大容量點對點的傳輸後，上世紀末已進入了光纖網絡時代。MEMS在光纖通信領域的應用範圍十分寬廣，幾乎所有光網絡中的各個組成單元都能采用MEMS製作器件，並由此產生了一個新名詞：微光電子機械係統（MOEMS），它是機、電
、光、磁、化學、自動控製

、傳感技術與信息處理等多種技術的綜合。綜觀光纖通信器件的發展曆程，可以看出器件的發展趨勢為：塊狀堆集型®光纖型®MOEMS型®集成型。前兩種已經形成產業化，並正在向小型化方向發展。

在目前集成型器件還不十分成熟的情況下，MEMS（或MOEMS）型光器件已出現了商業化的產品。利用MEMS技術可以製作光纖通信傳輸網中的許多器件
，如：光分插複用器（OADM）、光交叉連接開關矩陣（OXC-AS）、光調製器

、光濾波器、波分複用解複用器
、可調諧微型垂直腔表麵發射半導體激光器（VCSEL）、可變光衰減器
、增益均衡器及用於光路分配和耦合的微透鏡陣列等多種微型化光器件。

MEMS光開關的優勢
　　
MEMS技術在光纖通信網絡中的一個重要應用就是利用微動微鏡製作光開關矩陣，微動微鏡可以采用上下折疊方式、左右移動方式或旋轉方式來實現開關的導通和斷開功能。MEMS技術製作的光開關是將機械結構、微觸動器和微光元件在同一襯底上集成，結構緊湊、重量輕，易於擴展。它比機械式光開關和波導型光開關具有很好的性能，如：低插損、小串音、高消光比
、重複性好
、響應速度適中，與波長、偏振、速率及調製方式無關，壽命長、可靠性高，並可擴展成大規模光交叉連接開關矩陣。
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MEMS光開關有2D(二維)數字和3D(三維)模擬兩種結構。在2D結構中，所有微反射鏡和輸入輸出光纖位於同一平麵上，通過靜電致動器使微鏡直立和倒下或使微鏡以“翹翹板”的方式處於光路和彈出光路的工作方式來實現“開”和“關”的功能

，如圖1所示，所以2D結構又稱為數字型。一個N´N的2D光開關需要N2個微反射鏡，2D結構的優點是控製簡單，缺點是由於受光程和微鏡麵積的限製
，交換端口數不能做得很大。

在3D結構中，所有微反射鏡處於相向的兩個平麵上，通過改變每個微鏡的不同位置來實現光路的切換，如圖2所示。一個N´N的3D光開關隻需要2N個微反射鏡
，但每個微反射鏡至少需要N個可精確控製的可動位置，所以3D結構又稱為模擬型。與2D結構相反，3D結構的優點是交換端口數能做得很大，可實現上千端口數的交換能力
，缺點是控製機理和驅動結構相當複雜，控製部分的成本很高。
　　
MEMS光開關的優勢體現在性能、功能、規模、可靠性和成本等幾個方麵。在關鍵的性能指標如插入損耗、波長平坦度、PDL（偏振相關損耗）和串擾方麵，MEMS技術能達到的性能可與其他技術所能達到的最高性能相比。比如基於MEMS技術製作的2×2光開關模塊的插入損耗可達0.4dB，PDL小於0.1dB，串擾小於-70dB。在功能方麵
，微鏡具有可靠的閉鎖功能
，能夠保證光路切換的準確性。在規模方麵
，采用2D結構的MEMS光開關已有64´64的商用產品，采用3D結構的MEMS光開關也有上千端口數的樣品，從而使構建中等規模和大規模光纖網絡節點成為可能。

在zai可ke靠kao性xing方fang麵mian，單dan晶jing矽gui極ji好hao的de機ji械xie性xing能neng可ke使shi製zhi成cheng的de器qi件jian能neng夠gou抗kang疲pi勞lao
，由you於yu單dan晶jing矽gui中zhong沒mei有you位wei錯cuo，所suo以yi從cong本ben質zhi上shang它ta不bu會hui產chan生sheng疲pi勞lao，是shi一yi種zhong完wan美mei的de彈dan性xing材cai料liao。MEMS光開關的壽命已超過3800萬次，並且在溫度循環
、衝擊

、振動和長期高溫貯存等可靠性指標方麵
，均滿足TelcordiaGR-1073-Core標準。在成本方麵
，MEMS光開關為降低係統成本提供了多種可能，MEMS芯片的功能度使得更低成本的網絡設置和架構以及光纖層的保護成為可能。MEMS尺寸小和功耗低的特性使得係統的外形可以縮小，節省了中繼器和終端節點占用的地盤。MEMSqijiandedanpichanlianghengao，jingjixinghao，erqieqijianyuqijianzhijianzhongfuxinghao。zhixingqiyuguangqijianjichengzaidangexinpianshang，keyizaiyigeguipianshangzhongfuduoci，congerkeyitigongjiagegengdideguangqijian。zhexiezaichengbenfangmiandejieyuejiangshiqijianjiagexiajiang，zuizhongjiangdishebeiheyingyunchengben。

光開關發展動態
　　
盡管率先將MEMS光開關商用化的OMM公司在今年（2003）3月因最後獲得資金的希望破滅而暫時關閉，去年（2002）Onix關門
、IMMI轉向以及采用3D-MEMS技術曾研製出1152´1152光開關的Xros前年（2001）被Nortel收購。目前仍有不少的機構（包括Dicon、Luncent

、Jdsu、Nortel等）在進行MEMS光開關的應用開發。目前全球有60家左右的MEMS製造工廠，上百家MEMS領域的新興公司以及更多的大學和研究機構。

Coventor公司的MEMS計算機輔助設計（CAD）軟件工具，目前全球的用戶已超過300家。除MEMS光開關外，據筆者不完全統計，目前擁有MEMS技術設備並能提供相關光器件的公司主要有：JDSU、Santec、Memscap、Intpax、Umachines、Baynet、Avanex
、Agere
、InLight、Bandwidth9

、Fujitsu、Go4fiber、lucent、networkelements、nortel、Olympus

、NetworkPhotonics、Siemens、Teraoptix、Finisar
、MCI
、chromux、AXSUN、MegaSense、Sercalo、Molecular、Bookham
、LIGHTech、Dicon
、Lightconnect
、Cypress、Novera等。最近Fujitsu宣布將發展一項采用MEMS技術的80通道的光開關
，其切換速度將是1微秒，這是截至目前多通道光開關的最高切換速度。

此外，日本Olympus也開始進行MEMS研發部門新的整合計劃
，其計劃不僅包括可變光衰減器、光MEMS開關等光通信MEMS芯片
，而且還包括設計
、製造和封裝用於光網絡、生物、醫藥和工業用途的MEMS產品。目前，全球已有數十家公司將MEMS技術作為光器件的基本開發技術
，現已有的產品包括光開關、可變光衰減器
、可調濾波器、可調激光器、共振腔探測器、增益均衡器、調製器及光斬波器等。據市場調研公司CIR預測：光MEMS市場將從2003年的5.6億美元增加到2007年的17億美元

，其中，基於MEMS的小型光開關將取代傳統的機械式光開關，而依賴光MEMS構建的設備的實際市場總額則將達到數十億美元。
　　
全球光纖通信市場在經曆了近三年的冬眠期之後
，隨著朗訊市場份額的好轉和市值的抬頭，使人們重新燃起了春天的希望。盡管近年來MEMS光器件製造商風雲變幻，潮起潮落，但MEMS技術的應用領域不僅僅是光通信
，依然保持著強勁的生命力。以其研究方向多元化
、加工工藝多樣化、係統單片集成化、製造與封裝統一化
、應用領域全麵化為標誌的固有特征和先天優勢，必將在通信、導航、傳感

、醫用、交通
、航空航天等軍事和民用領域得到廣泛的推廣和應用。