打造首款國產碳化矽生產設備, 德國PVA TePla集團助力中國半導體產業高質發展
發布時間:2024-03-22 來源:投稿 責任編輯:admin
中國,上海—2024年3月20日,半導體行業盛會 SEMICON China 2024啟幕,全球高端半導體設備製造商德國PVA TePla集團再次亮相,並向行業展示其最新打造的國產碳化矽晶體生長設備“SiCN”。該設備專為中國市場定製,並結合半導體行業生產特點,將德國的設計經驗和理念與中國本土化生產配套能力優勢聯合,采用PVT法(物理氣相傳輸工藝)生產碳化矽晶體,計劃於2024年第二季度投入市場。

PVA TePla亮相SEMICONChina2024
“作為PVA TePla在華打造的首款國產碳化矽晶體生長設備,‘SiCN’旨在幫助我們更好地滿足本土化需求,為中國市場提供成熟穩定的工藝設備,進一步幫助合作夥伴提升市場競爭力。”德國PVA TePla集團半導體業務中國區負責人謝秀紅表示,“中國已成為全球第三代半導體產業鏈中碳化矽襯底製造的重要基地。PVA TePla在(zai)晶(jing)體(ti)生(sheng)長(chang)設(she)備(bei)設(she)計(ji)和(he)製(zhi)造(zao)領(ling)域(yu)積(ji)累(lei)了(le)豐(feng)富(fu)的(de)經(jing)驗(yan),未(wei)來(lai)將(jiang)持(chi)續(xu)致(zhi)力(li)於(yu)加(jia)強(qiang)本(ben)土(tu)化(hua)供(gong)應(ying)鏈(lian)建(jian)設(she),完(wan)善(shan)本(ben)土(tu)團(tuan)隊(dui)的(de)技(ji)術(shu)服(fu)務(wu)能(neng)力(li),助(zhu)力(li)中(zhong)國(guo)半(ban)導(dao)體(ti)產(chan)業(ye)高(gao)質(zhi)量(liang)發(fa)展(zhan)。”
打造首款國產碳化矽晶體生長設備
在zai中zhong國guo,電dian動dong汽qi車che和he諸zhu多duo新xin興xing行xing業ye的de蓬peng勃bo發fa展zhan為wei碳tan化hua矽gui襯chen底di材cai料liao帶dai來lai廣guang闊kuo機ji遇yu。碳tan化hua矽gui半ban導dao體ti材cai料liao的de生sheng產chan技ji術shu日ri漸jian成cheng熟shu穩wen定ding,並bing已yi形xing成cheng相xiang當dang的de工gong業ye規gui模mo。作zuo為wei最zui早zao將jiang碳tan化hua矽gui晶jing體ti設she備bei引yin入ru中zhong國guo市shi場chang的de企qi業ye之zhi一yi,德de國guoPVA TePla集團始終致力於融合中德前沿技術優勢。“SiCN”融彙了中國的本土化采購、shengchanpeitaonenglihedeguodejishujileihechuancheng,tongguoshebeigenghaodekekaoxingheyizhixingyunxing,youxiaotigaoliangpinlv,zaijiangdizhizaochengbendetongshidadaogengyouxiaoyi,bangzhuxiayoukehuyouxiaotigaozuizhongchanpindefujiazhihehexinjingzhengli。

PVA TePla碳化矽晶體生長設備
·定製化:特定的晶體生長工藝通常是企業的高度機密,定製化晶體生長平台對於驗證和優化其工藝至關重要。PVA TePla可為客戶提供專業定製化解決方案,以滿足行業獨特的工藝和知識產權需求,從而實現無縫擴展以進行大規模生產。
·靈活性:“SiCN”的設計可采用和更換成熟供應商的標準組件以及定製組件,保證設備可以使用最新的研發成果,實現持續的技術進步。
·可靠生產:“SiCN”係統設計緊湊,自動化程度高,可最大化節約整體運營空間,同時方便維護,可實現可靠的大規模生產。客戶還可整合如加料小車、多種真空泵選項和測量設備等其他部件,進一步提升係統功能。
·高生產效能:晶體生長過程需要具備在超過2,000°C的高溫條件下長時間運行,因此優異的能源效率可以實現更佳的成本效益。“SiCN”采用經驗證的低能耗感應線圈設計,實現高效率的感應加熱,有效降低能耗,優化生產成本。
德國PVA TePla集團已在全球範圍內銷售SiC晶(jing)體(ti)生(sheng)長(chang)係(xi)統(tong),並(bing)與(yu)全(quan)球(qiu)領(ling)先(xian)的(de)主(zhu)流(liu)碳(tan)化(hua)矽(gui)襯(chen)底(di)材(cai)料(liao)供(gong)應(ying)商(shang)共(gong)同(tong)研(yan)發(fa)並(bing)為(wei)其(qi)提(ti)供(gong)長(chang)晶(jing)設(she)備(bei),其(qi)設(she)備(bei)穩(wen)定(ding)性(xing)和(he)產(chan)品(pin)質(zhi)量(liang)一(yi)致(zhi)性(xing),在(zai)大(da)尺(chi)寸(cun)碳(tan)化(hua)矽(gui)材(cai)料(liao)的(de)研(yan)發(fa)過(guo)程(cheng)中(zhong)起(qi)到(dao)了(le)關(guan)鍵(jian)作(zuo)用(yong)。
建立中國供應鏈與本土化配套服務
目前,德國PVA TePla集團已在中國建立生產基地、演(yan)示(shi)中(zhong)心(xin)及(ji)供(gong)應(ying)鏈(lian)中(zhong)心(xin),旨(zhi)在(zai)將(jiang)高(gao)端(duan)設(she)備(bei)國(guo)產(chan)化(hua),以(yi)更(geng)好(hao)地(di)助(zhu)力(li)中(zhong)國(guo)半(ban)導(dao)體(ti)產(chan)業(ye)提(ti)升(sheng)和(he)發(fa)展(zhan),特(te)別(bie)是(shi)碳(tan)化(hua)矽(gui)晶(jing)體(ti)和(he)大(da)尺(chi)寸(cun)單(dan)晶(jing)矽(gui)片(pian)的(de)生(sheng)產(chan)。同(tong)時(shi),為(wei)了(le)貼(tie)合(he)本(ben)土(tu)市(shi)場(chang)需(xu)求(qiu),德(de)國(guo)PVA TePla集團也在進一步完善本地團隊技術服務,加強與下遊合作夥伴的研發合作,並且提供更加專業化、定製化的本地支持,幫助合作夥伴更加便捷、快速的實現大規模生產能力。
隨著中國成為全球碳化矽的重要生產基地,德國PVA TePla集團將持續深耕中國市場,加強本土化生產供應與配套服務能力,深化本地創新研發合作,助力中國半導體產業高質量發展。
關於德國PVA TePla集團(德國普發拓普)
德國PVA TePla集團是全球領先的材料和測量測試技術領域高科技解決方案供應商。憑借廣泛的創新產品、工藝和服務組合,PVA TePla支持客戶克服許多不同行業的苛刻挑戰。作為係統供應商,PVA TePla為材料加工、精煉生產、複雜工藝提供可靠保障。從概念到加工,PVA TePla為半導體材料、晶體、光學元件和其他高科技材料的生產提供係統和解決方案。在測量測試領域,PVA TePla也針對廣泛應用提供高精度測量和分析設備,包括從表麵檢測到3D檢測,從而有助於質量控製,過程監控和缺陷分析。通過這些方案和服務,PVA TePla支持客戶提高產品質量,優化生產流程,增強其在市場上的競爭力。
關於普發半導體設備(西安)有限公司
普發半導體設備(西安)有限公司是德國PVA集團在西安設立的擁有獨立法人資格的全資子公司,主要經營和生產製造半導體設備,及其相關的售後服務、技術谘詢、安裝調試等業務。
作為實現德國PVA集團中國布局的戰略平台,西安普發半導體將為集團公司實現設備零部件的國內采購、加工製造、安an裝zhuang調tiao試shi提ti供gong本ben地di支zhi持chi,致zhi力li於yu實shi現xian高gao端duan設she備bei國guo產chan化hua,服fu務wu於yu中zhong國guo半ban導dao體ti材cai料liao市shi場chang,為wei中zhong國guo半ban導dao體ti和he集ji成cheng電dian路lu產chan業ye實shi現xian原yuan材cai料liao的de技ji術shu突tu圍wei提ti供gong強qiang有you力li的de支zhi持chi。
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