2012高端精密電子束鍍亮相高工LED展

據大和熱磁相關負責人介紹
，TFC3500采用世界廣泛使用的電子槍(Temescal)，高壓電源(Ferrotec 德國)

，低溫泵(美國CTI) 以及進口幹泵
、真空規
、晶震膜厚控製器
、電子束掃描器、閘板閥、磁流體密封軸承、電子線路元器件等。

其(qi)蛋(dan)殼(ke)型(xing)不(bu)鏽(xiu)剛(gang)主(zhu)腔(qiang)體(ti)在(zai)保(bao)證(zheng)大(da)裝(zhuang)片(pian)量(liang)的(de)同(tong)時(shi)，有(you)效(xiao)地(di)縮(suo)短(duan)了(le)排(pai)氣(qi)時(shi)間(jian)。可(ke)滑(hua)動(dong)電(dian)器(qi)櫃(gui)和(he)可(ke)升(sheng)降(jiang)電(dian)子(zi)槍(qiang)底(di)盤(pan)減(jian)少(shao)了(le)占(zhan)地(di)空(kong)間(jian)方(fang)便(bian)了(le)使(shi)用(yong)和(he)維(wei)護(hu)，整(zheng)體(ti)結(jie)構(gou)緊(jin)湊(cou)，節(jie)能(neng)
，占(zhan)地(di)麵(mian)積(ji)小(xiao)。

同時
，在信息化時代

，TFC3500可以通過電腦軟件和操作係統對複雜的鍍膜工藝過程進行安全可靠的全自動控製和數據記錄。同時配備有LED行業需要的基片高溫紅外加熱器，反應氣體流量控製器
，可控低溫泵閘板閥等等。

談到未來的發展，楊東紅表示，Ferrotec(中國)未wei來lai將jiang致zhi力li於yu降jiang低di生sheng產chan成cheng本ben，增zeng加jia供gong應ying量liang，繼ji續xu以yi技ji術shu創chuang新xin為wei動dong力li
，不bu斷duan研yan製zhi開kai發fa具ju有you國guo際ji水shui準zhun，又you適shi合he於yu中zhong國guo市shi場chang需xu求qiu的de高gao科ke技ji鍍du膜mo機ji，以yi便bian更geng好hao的de滿man足zu和he適shi應ying中zhong國guo未wei來laiLED行業的發展需求。

經過20年快速發展，Ferrotec(中國)員工從9人到5000人，廠房麵積從500平米到23.6萬平米，投資總額從1.5億日元到200億日元，銷 售額從原始38萬元人民幣到45億元人民幣。已發展成以半導體、太陽能及功能材料為主導的三大主業為中心，集研發
、製造和服務為一體的多元化企業集團和有 多元化技術的跨國集團。並在半導體、太陽能光伏、精密機械高端領域樹立了良好的業界形象。

在即將開幕的2012高工LED展上

，大和熱磁將首次推出其最新研製的高端精密電子束蒸發鍍膜機TFC3500。“這是為LED製造業和其他工業領域專門研發的，憑借著美國Ferrotec Temescal 六十年悠久的曆史和經驗
，以及在電子槍和鍍膜機製造方麵的多項專利技術，同時吸收了美國、德國
、日本等國內外的最新工藝”楊東紅說。”杭州大和熱磁電子有限公司(以下簡稱“大和熱磁”)真空技術事業部的楊東紅在接受《高工LED》記(ji)者(zhe)采(cai)訪(fang)時(shi)既(ji)興(xing)奮(fen)又(you)無(wu)奈(nai)地(di)表(biao)示(shi)，由(you)於(yu)全(quan)球(qiu)經(jing)濟(ji)持(chi)續(xu)低(di)迷(mi)，已(yi)經(jing)影(ying)響(xiang)到(dao)半(ban)導(dao)體(ti)和(he)通(tong)信(xin)行(xing)業(ye)，雖(sui)然(ran)上(shang)半(ban)年(nian)大(da)和(he)熱(re)磁(ci)的(de)整(zheng)體(ti)銷(xiao)售(shou)額(e)保(bao)持(chi)了(le)一(yi)定(ding)增(zeng)長(chang)
，但(dan)增(zeng)長(chang)速(su)度(du)與(yu)往(wang)年(nian)相(xiang)比(bi)稍(shao)有(you)放(fang)緩(huan)。

楊東紅指出，與傳統的鍍膜機結構設計不同
，TFC3500的真空室和蒸發距離可以按用戶需要加長

，從而滿足在6英寸或更大尺寸基片上的鍍膜要求，適合50mm~150mm晶圓ITO膜製成工藝。

今年上半年，全球都麵臨著嚴峻的經濟疲軟考驗
，尤其是新興產業。但楊東紅認為：“LEDxingyezuoweiguojiazhongdiangulifazhanhezhichidexinxingchanye
，zaixiabannianyiranhuiyougengduoyouhuolideqiye，touruxindeshengchanxiantuidongkuochanxiangmu
，yujigongsijinnianzhengtixiaoshouqingkuangbuhuiruxiangxiangdenamebeiguan。”