市場狀況：

• 2009年全球MEMS可能增長率小於1%
• 許多新的MEMS應用卻得到切實的增長

按Yole Developpement報道
，全球MEMS工業正麵臨之前從未有過的停滯，2008年的銷售額下降2%，達68億美元

，其2009年非常可能增長率小於1%。然而當汽車電子，工業壓力傳感器及打印頭市場隨著全球經濟下滑時，許多新的MEMS應用卻得到切實的增長。

MEMS在消費類電子產品中，如加速度計
，陀螺儀的市場繼續看好，推動供應商如STMicron(日內瓦)，Invensense(加州桑尼威爾)，其銷售額有10-30%增長。隨著MEMS在醫療電子和診斷設備的應用擴大
，其市場繼續增大。今年新的內窺測量產品(IMU)開始啟動。它集成了多軸加速度計和陀螺儀功能
，不但尺寸小，而且價格不到10美元，所以也推動了遊戲機
，照相機防震及指示儀等新的應用。

由於MEMS產品分散性大
，與IC工業顯著下滑相比，MEMS工業仍是繼續健康的成長。Yole CEO說由於MEMS產品存在眾多的市場機會

，相對全球MEMS市場看好。在全球MEMS市場達到68億美元情況下，僅隻有14家領先公司的銷售額超過1.5億美元
，以及30家公司的銷售額大於2800萬美元。下圖為MEMS市場的預測：

全球MEMS設備市場的情況就不一樣，2008年銷售額僅2億美元

，相比與2007年的3，3億美元。盡管全球的經濟狀況仍很難確定，但是2009年MEMS設備市場按最好情況估計，也隻能達到與2008年時水平相近。

MEMS設備的研發相對仍是健康。而部分專業的MEMS設備製造商由於為完成今年訂單而擴大產能。其中矽片鍵合設備和用於芯片堆疊封裝，TSV
，圖象傳感器和納米印刷等其中的腐蝕設備正從半導體應用轉向MEMS
，並逐漸成為主流。

MEMS有一種在手機中的應用正吸引眾多人的眼球，叫WiSpry可調諧式數字電容器。它的優點可以減少載波電平的功耗和手機成本。該公司在今年四月又得到1000萬美元的資助資金，目前其產品正在某一手機製造商中進行驗證測試，並預計今年底可以量產。據Jeffery Hilbert總裁的看法，全球其餘的5家頂級手機製造商都有興趣導入此項技術
，並正在進行相關設計及樣品的試製階段
，另有兩家在評估之中。

該公司提出一種平行板電容器新結構
，其中一塊板是由180納米CMOS工藝製成的，而將MEMS置於CMOS的上麵，並且是可移動的，采用8yingcunguipiangongyijiguipianjifengzhuangjishu。ranerjiangxinpianyuqianrushibeidongyuanjianyiqifengzhuangzailingyigefengzhuangkenei。liyongzhexiedianrongqidekaihuoguanbatamenpailiezaiyizuzhenliezhongkeyishixiangezhongfangshideliantong，baokuorutianxian，fangdaqijiluboqideng。qizhongshouweideyingyongshiketiaoxieshitianxian
，taliyongzengjiahuojianshaozukanglaitiaozhengshoujidegonglv
，congershixianshoujidegonghaojiangdi。xiayibujihuashicaiyongtongyangjiegouyongzaigengdipinlvjigengxiaodetianxianzhizhong。

Hilberttandaoweilaideruanjianketiaoshizhenliekenengyingyongyuxuduobutongchanpinzhong。yinweishoujizhizaoshangyaomanzubutongguojiadegezhongbutongdekehuzhidingxuqiuchanpin，caiyongshangshujiegoukeyijieshengcailiaofeiyongyijijiakuaichanpintuixiangshichang。gonghaojiangdikeyizhuanhuanchengzaibodianpingdewangluoxiaolv，nengshiyonghutigaoyuanlijizhandeshiyongnenglijiyanchangshoujidianchideshiyongshouming。

另外，MEMS在生化醫療的應用中也得到實際的增長，如美國Proteus Biomedical公司(在加州紅杉城)正(zheng)把(ba)它(ta)的(de)係(xi)統(tong)應(ying)用(yong)於(yu)臨(lin)床(chuang)醫(yi)療(liao)中(zhong)，它(ta)利(li)用(yong)傳(chuan)感(gan)器(qi)和(he)智(zhi)能(neng)控(kong)製(zhi)技(ji)術(shu)來(lai)進(jin)行(xing)肺(fei)結(jie)核(he)和(he)心(xin)髒(zang)病(bing)的(de)治(zhi)療(liao)
，實(shi)現(xian)心(xin)髒(zang)的(de)剌(la)激(ji)與(yu)疏(shu)通(tong)。其(qi)下(xia)一(yi)步(bu)更(geng)大(da)計(ji)劃(hua)是(shi)在(zai)現(xian)有(you)的(de)醫(yi)療(liao)技(ji)術(shu)中(zhong)作(zuo)植(zhi)入(ru)式(shi)應(ying)用(yong)。

有項革命性的應用是植入式電極(implanted electrodes)，它能剌激心髒內不同腔體位置使它們進行同步或再同步心跳的治療。公司的核心技術在於釆用芯片級封裝技術，將尺寸小於毫米的MEMS傳感器和處理器封裝係統放在人體的內部使用，而且可以維持好多年
，來代替必須更多的插入導管來剌激心髒的不同位置。Proteus技術能在一根導管的兩條線上裝有16個(ge)電(dian)極(ji)，利(li)用(yong)起(qi)博(bo)器(qi)電(dian)源(yuan)能(neng)使(shi)傳(chuan)感(gan)器(qi)在(zai)心(xin)髒(zang)的(de)不(bu)同(tong)腔(qiang)體(ti)內(nei)移(yi)動(dong)，並(bing)剌(la)激(ji)產(chan)生(sheng)合(he)適(shi)的(de)收(shou)縮(suo)壓(ya)力(li)，最(zui)終(zhong)能(neng)將(jiang)訊(xun)息(xi)智(zhi)能(neng)化(hua)傳(chuan)出(chu)來(lai)。這(zhe)項(xiang)革(ge)命(ming)性(xing)的(de)創(chuang)新(xin)，把(ba)過(guo)去(qu)的(de)心(xin)髒(zang)撘(撘)橋(qiao)，插(cha)入(ru)導(dao)管(guan)的(de)方(fang)法(fa)改(gai)変(変)成(cheng)可(ke)移(yi)動(dong)的(de)MEMS傳感器，可以大大降低手術的難度與風險，可以想象未來應用在腦的剌激或者脊椎骨壓迫的修複等應用中，有著極其廣闊的應用前景。

同樣未來的醫療服務也可能實現全程智能化。如醫療機構可以通過電話告訴患者服藥。Proteus已製造出矽基比毫米還小的傳感器，而這種傳感器可以與藥丸附在一起。當藥丸吞下遇到水時傳感器會自動打開，並能發出不是RF的(de)傳(chuan)導(dao)訊(xun)號(hao)。接(jie)受(shou)器(qi)可(ke)以(yi)用(yong)繃(beng)帶(dai)綁(bang)在(zai)皮(pi)膚(fu)表(biao)麵(mian)或(huo)者(zhe)皮(pi)下(xia)植(zhi)入(ru)，以(yi)及(ji)象(xiang)一(yi)個(ge)起(qi)博(bo)器(qi)一(yi)樣(yang)，然(ran)後(hou)將(jiang)數(shu)據(ju)通(tong)過(guo)電(dian)話(hua)或(huo)者(zhe)計(ji)算(suan)機(ji)網(wang)絡(luo)傳(chuan)輸(shu)出(chu)去(qu)。這(zhe)樣(yang)的(de)病(bing)人(ren)就(jiu)可(ke)以(yi)在(zai)家(jia)中(zhong)，不(bu)必(bi)每(mei)天(tian)來(lai)到(dao)醫(yi)院(yuan)進(jin)行(xing)醫(yi)療(liao)診(zhen)斷(duan)。