比利時IMEC等聯合開發出高靈敏度氣體傳感器
發布時間:2010-06-18 來源:電子元件技術網
產品特性:
比利時IMEC與荷蘭HolstCentre開發出了高靈敏度的氣體傳感器。該傳感器可以檢測出濃度在ppm級別的氣體。新產品的尺寸也小於原產品,可作為“ElectronicNose(電子鼻)”用於食品管理、醫療保健以及檢測氣體泄漏等用途。
該氣體傳感器如同在電路上集成了IC那樣,在9mm×9mm的芯片上集成了160個小型MEMS。每個MEMS都是“橋”狀振子的一種,嵌入在壓電材料中。
檢測氣體的原理如下。首先,事先在該傳感器芯片上塗布高分子材料,目的是吸附希望檢測到的特定氣體。吸附氣體後,MEMS的共振頻率會發生變化,因此壓電材料產生的電位頻率也會發生變化。由此可以檢測出氣體的吸附情況。
吸附劑可以通過噴墨的方式分別塗布在每個MEMS上。由此還可以檢測出混合氣體中的各種成分比。
傳感器的功耗方麵,每個MEMS均不到1μW。
目前,IMECdengzhengzaituijinjianggaichuanganqixinpianyuxinhaoduqudianlujichengzaiyimeixinpianshangdekaifagongzuo。muqianshiyongdexifujizuhe,keyibianshiputaojiuhenailaodexiangwei。jujieshao,jianglaiyoukenengyongyushibierendexiaochuan、肺癌以及腎髒病等。
- 可以檢測出濃度在ppm級別的氣體
- 食品管理、醫療保健以及檢測氣體泄漏等
比利時IMEC與荷蘭HolstCentre開發出了高靈敏度的氣體傳感器。該傳感器可以檢測出濃度在ppm級別的氣體。新產品的尺寸也小於原產品,可作為“ElectronicNose(電子鼻)”用於食品管理、醫療保健以及檢測氣體泄漏等用途。
該氣體傳感器如同在電路上集成了IC那樣,在9mm×9mm的芯片上集成了160個小型MEMS。每個MEMS都是“橋”狀振子的一種,嵌入在壓電材料中。
檢測氣體的原理如下。首先,事先在該傳感器芯片上塗布高分子材料,目的是吸附希望檢測到的特定氣體。吸附氣體後,MEMS的共振頻率會發生變化,因此壓電材料產生的電位頻率也會發生變化。由此可以檢測出氣體的吸附情況。
吸附劑可以通過噴墨的方式分別塗布在每個MEMS上。由此還可以檢測出混合氣體中的各種成分比。
傳感器的功耗方麵,每個MEMS均不到1μW。
目前,IMECdengzhengzaituijinjianggaichuanganqixinpianyuxinhaoduqudianlujichengzaiyimeixinpianshangdekaifagongzuo。muqianshiyongdexifujizuhe,keyibianshiputaojiuhenailaodexiangwei。jujieshao,jianglaiyoukenengyongyushibierendexiaochuan、肺癌以及腎髒病等。
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