【導讀】微機電係統（MEMS）是一種緊湊型設備
，在單個矽芯片上組合各種功能，如機械、光學、流體和電子，是醫療、運輸和電信領域發展的主要支持技術。MEMS加速度計、MEMS陀螺儀、MEMS壓力傳感器、MEMS開關、MEMS振動能量采集器、MEMS生物傳感器、MEMS振蕩器，這些都是大家耳熟能詳的產品。

圖源：Open Studio/stock.adobe.com

MEMS器件具有重量輕、體積小、成本低、功耗小等優點，非常有利於MEMS器件在電信和消費電子等行業中的應用。近年來，MEMS技術在汽車行業尤其是包括安全氣囊係統在內的車輛安全係統中越來越受到青睞。

MEMS的技術進步

MEMS器件的第一次實驗室演示是在20世紀60年代，以MEMS壓力傳感器的形式進行的。而真正的商業開發和製造則始於20世紀90年代。如今，我們使用的智能手機
、智能手表和健身跟蹤器基本都配備有MEMS設備。

過去用於確定飛機座艙中橫搖

、俯仰和偏航的航空陀螺儀係統重達數公斤
，現在用於智能手機中的MEMS陀螺儀重量還不到1毫克，大小相當於一粒沙子。隨著尺寸的縮小，MEMS的製造成本顯著降低
，經濟規模也得到改善。與傳統機械設備相比，MEMS設備具有更低的功耗和更高的靈敏度。例如，MEMS諧振應變計僅消耗微瓦級的功率，就能在納米應變範圍內提供極高的靈敏度。

MEMS不僅用於傳感器，還可用於通信模塊、執zhi行xing器qi和he數shu據ju處chu理li設she備bei以yi及ji感gan知zhi傳chuan感gan器qi
，其qi部bu件jian大da小xiao從cong一yi微wei米mi到dao一yi毫hao米mi不bu等deng。由you此ci產chan生sheng的de機ji器qi從cong沒mei有you任ren何he運yun動dong部bu件jian的de簡jian單dan機ji器qi到dao具ju有you多duo個ge運yun動dong部bu件jian的de複fu雜za機ji電dian係xi統tong。這zhe些xie係xi統tong有you許xu多duo不bu同tong的de類lei型xing：磁性、電氣、熱
、化學
、光學和機械。

MEMS的市場潛力

根據Yole的數據，全球MEMS和傳感器市場的價值將從2018年的480億美元增至2024年的930億美元
，幾乎翻一番。2018年，隨著越來越多的MEMS設備和傳感器（如MEMS、圖像傳感器和RF濾波器）集成到消費品和汽車等最終產品中，MEMS和傳感市場占到整個IC市場的10%以上。

2019年至2024年，MEMS市場在壓力、射頻、慣性以及生物醫學等應用的驅動下
，每年將增長8.3%。受新冠疫情影響

，2020年，MEMS市場價值約為121億美元
，比上年增長2%左右。

在經曆了2019年和2020年的疲軟之後，Yole的分析師預計，2021年的MEMS市場將增長11%，達到134億美元。在此之後，MEMS的年收入在2026年前將增至182億美元，複合年增長率約為7%。其中，傳統的MEMS設備將繼續增長，但增速較慢，相關的產品包括麥克風和光學MEMS等。MEMS的收入主要由消費市場驅動，消費者應用約占總市場的62%，汽車行業占總市場的16%。

圖1：MEMS行業應用發展情況

（圖源：Yole）

來自Mordor intelligence的市場分析表明，2020年
，全球MEMS市場估值約為109.2億美元
，預計到2026年將達到188.8億美元
，在2021至2026年的預測期內，複合年增長率為8.71%，這些數據略高於Yole的預測。

Mordor intelligence更加看重消費類市場的發展並認為
，可穿戴設備是物聯網發展的重要一步
，也是MEMS傳感器的新應用領域。采用MEMS後
，最終產品將具有更好的產品外觀，並增加了功能。同樣，MEMS在自動化工業領域也發揮著關鍵作用。比如


，MEMS加速度計和陀螺儀就是工業自動化應用的理想選擇。

Report linker發布的“全球MEMS行業報告”中相關的市場數據低於Yole的預測。Report linker的數據顯示，全球MEMS市場在2020年估計為115億美元
，預計到2026年將達到169億美元的規模，期間以6.7%的複合年增長率增長。

過去幾年，由於MEMS技術在智能手機、平板電腦、筆記本電腦

、可穿戴設備、數碼相機、遊戲控製台、媒體播放器和便攜式導航設備中的使用越來越多


，消費電子產品占據了最大份額。細分市場之一的消費電子產品預計會以7.3%的複合年增長率增長，到2026年將達到103億美元。Report linker同樣看好汽車市場的潛力並表示，汽車自動化需求的增加、無人駕駛汽車的增長趨勢、電動汽車數量的增加以及汽車行業內的激烈競爭是推動汽車行業傳感器需求的一些主要因素。汽車行業的增長在未來7年內的複合年增長率為5.9%，該細分市場目前占全球MEMS市場的15.1%。其中
，美國市場預計在2021年達到21億美元，中國市場預計在2026年達到39億美元。

隨著MEMS市場的不斷擴大
，市場競爭越來越激烈，整個市場目前主要由亞太地區的幾家公司主導，其次是美洲和歐洲的公司。Broadcom（博通）、Bosch（博世）

、STMicroelectronics（意法半導體）、TI（德州儀器）
、Qorvo、Infineon（英飛淩）、NXP（恩智浦）等是目前市場上的一些主要參與者。

汽車中的MEMS傳感器應用

多年來，傳感器早已融合到車輛的整體設計和製造中。一輛汽車現在可以有100個ge或huo更geng多duo的de傳chuan感gan器qi，用yong於yu監jian測ce和he控kong製zhi某mou些xie驅qu動dong參can數shu。電dian動dong汽qi車che的de公gong眾zhong接jie受shou度du和he自zi動dong駕jia駛shi汽qi車che的de未wei來lai發fa展zhan很hen大da程cheng度du上shang將jiang依yi賴lai於yu這zhe些xie傳chuan感gan器qi的de超chao可ke靠kao性xing。在zai這zhe些xie傳chuan感gan器qi中zhong
，MEMS傳感器約占三分之一。

Verified market research預計
，汽車MEMS傳感器市場規模在2020年估值為18.9億美元，從2021到2028年以14.5%的複合年增長率（CAGR）增長，預計到2028年將達到50.3億美元。節能環保技術是汽車MEMS傳感器市場收入增長的關鍵因素，政府關於安全、效率和駕駛員輔助的法規將促進市場增長。歐洲和北美目前是汽車MEMS傳感器的兩個最大市場。然而，以中國和印度為代表的亞太地區市場的增長是極其顯著的。

汽車MEMS傳感器具有效率高、體積小
、成本低等優點。當今車輛中最常見的MEMS傳感器有：慣性傳感器、磁強計、壓力傳感器、熱傳感器、氣體傳感器、微光學。慣性傳感器包括加速計和陀螺儀，可以單獨也可以組合在一起使用。其中，加速計用於測量靜態（重力）和動態（運動或振動）加速度，陀螺儀則負責識別角度的變化。這些傳感器是汽車行業的主導類型，並用於許多關鍵應用。

電氣化和智能化是汽車行業的兩個重要趨勢，隨著這一趨勢的加速，正在影響著包括MEMS傳感器在內的汽車半導體器件的設計和應用，高價值傳感模塊在汽車係統中也得到了快速集成。例如，MEMS傳感器在包括安全氣囊在內的車輛安全係統中越來越受到青睞。

Bosch SMA7xy係列MEMS傳感器具有極快的信號處理能力
，可直接集成到氣囊ECU中
，或位於A柱
、B柱或C柱或前保險杠上
，在幾秒鍾內就能檢測到碰撞或汽車側翻事件，並將此信息發送到氣囊ECU。接下來

，氣囊ECU將迅速觸發車輛的被動安全係統。SMA7xy係列產品之一的SMA760，能精確檢測正麵和側麵碰撞。同係列的另一個傳感器SMA720包含一個x和一個z通道，可用於測量沿垂直軸的加速度

，是車輛側翻檢測的理想伴侶。SMA7xy係列的所有傳感器均符合ISO 26262的ASIL D安全級別
，並符合VDA AK-LV27規範。

圖2：Bosch SMA7xy係列MEMS傳感器

（圖源：Bosch）

汽車中的陀螺儀可以測量或保持車輛的方向和角速度。ESP（電子穩定控製程序）中基於MEMS的陀螺儀是汽車工業中廣泛接受且功能強大的安全係統。為此，MEMS傳感器供應商紛紛加緊開發用於自動駕駛的慣性測量單元（IMU）以及用於鋰離子電動汽車電池的電池壓力監測傳感器，以應對電氣化和自動化車輛帶來的新機遇。

汽車行業是高端IMU的新興市場。隨著高端汽車製造商在未來幾年將逐步趨近L5自動駕駛，此舉將為IMU驅動的MEMS傳感器帶來巨大發展機遇。汽車MEMS IMU可能是車內使用的最複雜的MEMS設備。這種類型的IMU由多個陀螺儀和加速度計傳感元件以及信號處理模塊組成，集成在一個封裝中，構建了一個能夠測量多達六個自由度（6DoF）的慣性傳感器

，包括：旋轉運動的偏航
、滾轉和俯仰，以及線性運動的橫向、縱向和垂直加速度。

STMicroelectronics的汽車級6軸慣性模塊ASM330LHH具有3D數字加速計和3D數字陀螺儀
，是一款車規傳感器，符合AEC-Q100標準，其擴展溫度範圍高達+105°C，旨在解決汽車非安全應用問題。ASM330LHH的滿標度加速度範圍為±2/±4/±8/±16g，角速率範圍為±125/±250/±500/±1000/±2000/±4000dps。ASM330LHH的所有設計方麵都經過了優化，以達到卓越的輸出穩定性、極低的噪聲和完整的數據同步，有利於傳感器輔助應用，如航位推算和傳感器融合，可在廣泛的汽車應用中使用。

圖3：STMicroelectronics汽車級6軸慣性模塊ASM330LHH

（圖源：Mouser）

TDK公司的IAM-20680HT同樣是一款用於汽車非安全應用的6軸運動跟蹤產品，它將3軸陀螺儀和3軸加速度計組合在一個3×3×0.75mm（16針LGA）的小封裝中。它還具有4096字節的FIFO，通過允許係統處理器突發讀取傳感器數據，然後進入低功耗模式。

圖4：TDK公司6軸運動跟蹤產品IAM-20680HT

（圖源：TDK）

大型鋰離子電池在電動汽車（EV）中的使用為MEMS傳chuan感gan器qi創chuang造zao了le新xin的de應ying用yong。我wo們men知zhi道dao，電dian池chi單dan元yuan進jin入ru熱re失shi控kong狀zhuang態tai是shi鋰li離li子zi電dian池chi的de已yi知zhi風feng險xian之zhi一yi
，此ci時shi的de監jian測ce每mei一yi秒miao都dou很hen重zhong要yao。研yan究jiu表biao明ming，提ti前qian測ce量liang電dian池chi組zu內nei的de壓ya力li並bing據ju此ci預yu判pan電dian池chi熱re失shi控kong是shi否fou已yi經jing開kai始shi是shi一yi個ge不bu錯cuo的de解jie決jue方fang案an。為wei了le能neng夠gou及ji時shi檢jian測ce到dao這zhe種zhong壓ya力li脈mai衝chong，要yao求qiuMEMS壓力傳感器必須時刻處於工作狀態。即使在車輛完全關閉的情況下
，該傳感器也不能停止工作。

NXP開發了一種新型MEMS壓力傳感器，專門用於解決電動汽車中的這種新的安全應用。NBP8x/NBP9x是NXP壓力傳感器產品係列中的一個完全集成的電池壓力監測傳感器係列（BPMS），采用4x4mm小封裝規格，提供低功耗、PWM、SPI、就緒/中斷及電源啟用功能。該電池壓力監控傳感器具有內置的MCU，能夠感應壓力變化，做出基於配置的決策，並根據此決策采取行動
，同時將此信息提供給主機係統。

圖5：NXP新型MEMS壓力傳感器NBP8x/NBP9x

（圖源：NXP）

本文小結

MEMS傳感器廣泛應用於當今的車輛中，其應用範圍正在擴大。雖然分離的傳感器、控製和執行器模塊在幾年前很常見

，但這些功能現在被合並到微集成封裝中。

目前，用於安全的慣性應用是MEMS傳感器在汽車領域的最大作用。加速計或慣性傳感器及其相關電子設備可識別正麵碰撞引起的任何突然減速。通過MEMS技術
，一個包含加速計和微處理器的微小芯片可以安裝在安全氣囊或安全帶預張緊器組件附近或內部。對於側麵碰撞，MEMS傳感器評估車門內空氣壓力的快速增加
，以決定是否應部署側麵安全氣囊。由於其體積小、可靠性高、功耗低
、速度快和成本低等特點，MEMS傳感器在性能和方便性方麵具有廣泛的應用前景。

在(zai)未(wei)來(lai)的(de)自(zi)動(dong)駕(jia)駛(shi)汽(qi)車(che)中(zhong)
，隨(sui)著(zhe)人(ren)類(lei)駕(jia)駛(shi)員(yuan)越(yue)來(lai)越(yue)多(duo)地(di)將(jiang)控(kong)製(zhi)權(quan)交(jiao)給(gei)電(dian)子(zi)係(xi)統(tong)，自(zi)動(dong)駕(jia)駛(shi)汽(qi)車(che)需(xu)要(yao)數(shu)十(shi)個(ge)傳(chuan)感(gan)器(qi)與(yu)周(zhou)圍(wei)環(huan)境(jing)進(jin)行(xing)交(jiao)互(hu)。這(zhe)些(xie)傳(chuan)感(gan)器(qi)也(ye)必(bi)須(xu)盡(jin)可(ke)能(neng)小(xiao)，這(zhe)樣(yang)它(ta)們(men)就(jiu)不(bu)會(hui)占(zhan)用(yong)其(qi)他(ta)設(she)備(bei)所(suo)需(xu)的(de)空(kong)間(jian)，比(bi)如(ru)載(zai)人(ren)和(he)電(dian)池(chi)。因(yin)此(ci)，汽(qi)車(che)行(xing)業(ye)也(ye)是(shi)MEMS傳感器生產和使用增長最快的領域之一。自動駕駛汽車的發展將推動對MEMS的更大需求
，尤其是與光學和射頻相關的MEMS。突破這些挑戰的公司將迎來MEMS的變革時期以及發展紅利。

來源：貿澤電子

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